In processu pulverisationis cathodicae, composita ut scopi ad praeparationem pellicularum chemicae synthesizatarum adhiberi possunt. Attamen compositio pelliculae post pulverisationem materiae scopi generatae saepe multum a compositione originali materiae scopi discedit, et ideo requisitis designii originalis non satisfacit. Si scopum metallicum purum adhibetur, gas activum requisitum (e.g., oxygenium in praeparatione pellicularum oxidi) conscie in gas operantem (exonerandum) miscetur, ut chemice cum materia scopi reagat ad pelliculam tenuem producendam quae secundum compositionem et proprietates regi potest. Haec methodus saepe "pulverisatione reactionis" appellatur.
Ut ante dictum est, pulverizatio RF adhiberi potest ad deponendas membranas dielectricas et varias membranas compositas. Attamen, ad membranam "puram" praeparandam, necesse est habere scopum "purum", oxidum, nitridum, carburum, vel aliud pulverem compositum altae puritatis. Transformatio horum pulverum in scopum formae certae requirit additiva necessaria ad formandum vel sinterizandum, quod in reductione significativa puritatis scopi et membranae resultantis evenit. In pulverizatione reactiva autem, cum metalla altae puritatis et gasa altae puritatis adhiberi possint, condiciones commodae praebentur ad praeparandas membranas altae puritatis. Pulverizatio reactiva crescente attentione annis proximis accepit et methodus maior facta est ad praecipitandas membranas tenues variorum compositorum functionalium. Late adhibitum est in fabricatione compositorum IV, I- et IV-V, semiconductorum refractariorum, et varietatum oxidorum, ut usus mixturae gasorum polycrystallinae Si et CH₄/Ar ad praecipitationem pellicularum tenuium SiC immittendam; scopi Ti et N/Ar ad pelliculas duras TiN praeparandas; Ta et O/Ar ad TaO₂ praeparandum; pelliculae tenues dielectricae, Fe et O₂/Ar ad -FezO₂ praeparandum; pelliculae inscriptionis -FezO₂; pelliculae piezoelectricae AIN cum A1 et N/Ar; pelliculae absorptionis selectivae A1-CO cum AI et CO/Ar; et pelliculae YBaCuO-superconducentes cum Y-Ba-Cu et O/Ar, inter alia.
–Hic articulus editus est abFabricator machinae ad obducendum vacuumGuangdong Zhenhua
Tempus publicationis: XVIII Ianuarii MMXXIV