Arcus ion cathodi vacuicoAting abbreviatur ut arcus vacuuscoSi duo vel plures fontes evaporationis arcus vacui (qui fontes arcus appellantur) adhibentur, hoc dicitur evaporatio ionum multiarcus.coarcus ating vel multi-arcuscoActio. Technologia est obductionis ionum vacuorum quae utitur emissione arcus vacui pro fontibus evaporationis. Dissimilis arcui electronico calido emissionis cathodi cavae, forma arcus eius est formatio macularum arcus cathodi in superficie cathodi frigidi.
Proprietates ionis arcus cathodici vacuicoating sunt:
(1) Fons evaporationis est scopus cathodicus solidus, qui plasmam directe ex fonte scopi cathodici generat sine necessitate piscinae fusae. Fons scopi arcus in quamlibet directionem et fontes multiplices disponi possunt ut uniformis obductio efficiatur.
(2) Structura instrumentorum satis simplex est, sine necessitate gasis operarii vel methodorum ionizationis auxiliarium. Fons scopi arcus non solum fons evaporationis est pro materia cathodica, sed etiam fons ionum; Durante depositione reactiva, solum gas reactivum existit, et atmosphaera per simplicem moderationem pressionis plenae regitur.
(3) Celeritas ionizationis alta est, plerumque ad 60%~80% pertingens, et celeritas depositionis alta est.
(4) Energia ionis incidentis magna est, et vis nexus pelliculae/substrati pelliculae depositae bona est.
(5) Ad operationem tutam, fons potentiae humilis tensionis adhibendus est.
(6) Pelliculas metallicas, pelliculas mixturarum metallorum deponere, varias pelliculas compositas (composita ammoniae, carbura, oxida) reagere et synthesizare, atque etiam pelliculas DLC, pelliculas CN, et cetera synthesizare potest. Incommodum eius est quod, durante depositione, guttae minutae liquidi a superficie scopi asperguntur, quae in strato pelliculae obductae condensantur et asperitatem strati pelliculae augent. Nunc, multae methodi efficaces ad has guttas minutas reducendas et eliminandas investigatae sunt.
Ion arcus vacuicoTechnologia obducendi late adhibita est ad obducendas tunicas protectorias superduras instrumentorum et formarum. Systema pellicularum includunt TiN, ZrN, HfN, TiAIN, TiC, TiNC, CrN, Al2O3, DLC, etc. Producta obducendi includunt instrumenta, formas, etc. Quod ad imitationem auri et tunicas protectorias decorativas coloratas attinet, systemata pellicularum includunt TiN, ZrN, TiAIN, TiAINC, TC, TiNC, DLC, Ti-ON, TONC, ZrCN, Zr-ON, etc. Systema pellicularum coloratarum includunt nigrum fuscum, nigrum, purpureum, fuscum, caeruleum, viridem, cinereum, etc.
Arcus multi-ioncoAting latam applicationum varietatem et magnam utilitatem habet, praesertim in obducendis stratis pellicularum durarum decorativis et attritioni resistentibus in superficiebus materiarum ut instrumentorum secandi, formarum, et laminarum chalybis inoxidabilis.
Tempus publicationis: XVII Kalendas Septembres, anno MMXXIII