Каршылыктын буулануу булагы каптоо негизги вакуумдук буулануу каптоо ыкмасы болуп саналат. "Буулануу" жука пленканы даярдоо ыкмасын билдирет, мында вакуумдук камерадагы каптоо материалы ысытылат жана бууланат, ошону менен материалдын атомдору же молекулалары бууланып, бетинен качып, буу агымынын кубулушун пайда кылып, субстраттын же субстраттын бетине түшүп, акырында конденсацияланып, катуу пленка пайда болот.
Каршылыктын буулануу булагы деп аталган каптоо ыкмасы тантал, молибден, вольфрам жана башка жогорку эрүү температурасы бар металлдарды буулануучу материалдар менен жүктөлгөн буулануу булагынын ылайыктуу формасын жасоо, абанын агып өтүшүн камсыз кылуу, буулануучу материалдарды түздөн-түз ысытуу жана буулантуу, же материалдарды буулануучу жана башка кычкылдуу заттарга салуу болуп саналат. кыйыр жылытуу жана буулануу. Бул каршылык жылытуу буулануу ыкмасы болуп саналат.
Theвакуумдук буулантуучу каптоочу машинакаршылык жылыткыч менен жылытылган жана бууланган жөнөкөй түзүлүшү, арзан баада жана ишенимдүү пайдалануу артыкчылыктарга ээ. Ал аз эрүү температурасы бар материалдарды буулантуу каптоо үчүн, өзгөчө каптоо сапатына төмөн талаптар менен массалык өндүрүш үчүн колдонулушу мүмкүн. Азырынча алюминизделген күзгүлөрдү өндүрүүдө колдонууга киргизилген каршылык жылытуу жана буулантуу боюнча каптоо процесстери дагы эле көп.
каршылык буулануу булагы буулануу каптоо ыкмасынын кемчиликтери жылытуу менен жетиши мүмкүн болгон максималдуу температура чектелген, ошондой эле жылыткычтын кызмат мөөнөтү да кыска болуп саналат. Акыркы жылдары, каршылык буулануу булагынын өмүрүн жакшыртуу максатында, жабдуулар фабрика буулануу булагы катары узак өмүр менен бор нитриди менен синтезделген өткөргүч керамикалык материалды кабыл алды. Жапон патентинин отчетуна ылайык, ал буулануу булагы (тигель) үчүн 20% ~ 30% бор нитридинен жана отко чыдамдуу материалдардан турган материалдарды колдоно алат жана анын бетин 62% ~ 82% камтыган цирконий катмары менен каптаса болот, ал эми калгандары цирконий-кремний эритмесинен жасалган материалдар.
Посттун убактысы: 22-апрель-2023

