Чачыратуучу каптоо процессинде кошулмалар химиялык синтезделген пленкаларды даярдоо үчүн максат катары колдонулушу мүмкүн. Бирок, максаттуу материалды чачыраткандан кийин пайда болгон пленканын курамы көбүнчө максаттуу материалдын баштапкы курамынан абдан четтеп кетет, ошондуктан баштапкы дизайндын талаптарына жооп бербейт. Эгерде таза металл бута колдонулса, анда талап кылынган активдүү газ (мисалы, оксид пленкаларын даярдоодо кычкылтек) аң-сезимдүү түрдө жумушчу (разряддык) газга аралашат, ошону менен ал максаттуу материал менен химиялык реакцияга кирип, анын курамы жана мүнөздөмөлөрү боюнча башкара ала турган жука пленка пайда болот. Бул ыкма көбүнчө "реакция чачуу" деп аталат.
Жогоруда айтылгандай, RF чачыратуу диэлектрдик пленкаларды жана ар кандай татаал пленкаларды салуу үчүн колдонулушу мүмкүн. Бирок, «таза» пленканы даярдоо үчүн «таза» бутага, жогорку тазалыктагы оксидге, нитридге, карбидге же башка кошулма порошок болушу керек. Бул порошокторду белгилүү бир формадагы бутага иштетүү үчүн формалоо же агломерациялоо үчүн зарыл болгон кошумчаларды кошуу талап кылынат, мунун натыйжасында бутанын жана пайда болгон пленканын тазалыгы олуттуу төмөндөйт. Ал эми реактивдүү чачыратууда жогорку тазалыктагы металлдарды жана жогорку таза газдарды колдонууга мүмкүн болгондуктан, жогорку тазалыктагы пленкаларды даярдоо үчүн ыңгайлуу шарттар каралган. Реактивдүү чачыратуу акыркы жылдары көбүрөөк көңүл буруп, ар кандай функционалдык кошулмалардын жука пленкаларын туташтыруунун негизги ыкмасы болуп калды. Ал IV, I- жана IV-V кошулмаларын, отко чыдамдуу жарым өткөргүчтөрдү жана түрдүү оксиддерди өндүрүүдө кеңири колдонулуп келет, мисалы, поликристаллдык Si жана CH./Ar газдардын аралашмасын SiC жука пленкаларынын жаан-чачынын тартуу үчүн, Ti максаттуу жана N / Ar TiN катуу пленкаларын даярдоо үчүн, Ta жана O / Ar даярдоо үчүн; диэлектрдик жука пленкалар, Fe жана O,/Ar даярдоо үчүн -FezO; -ФезО. жаздыруучу пленкалар, A1 жана N/Ar менен AIN пьезоэлектрдик пленкалар, AI жана CO/Ar менен A1-CO тандалма абсорбциялык пленкалар жана Y-Ba-Cu жана O/Ar менен YBaCuO-өткөргүч пленкалар жана башкалар.
– Бул макаланы чыгарганвакуумдук каптоочу машина өндүрүүчүсүГуандун Чжэнхуа
Посттун убактысы: 18-январь-2024