Вакуумдук катоддун ионыcoating вакуумдук жаасы деп кыскартылганcoтамактануу. Эгерде эки же андан көп вакуумдук буулануу булактары (жага булактары деп аталат) колдонулса, анда ал көп дога иондору деп аталат.coже көп аркаcoтамактануу. Бул буулануу булактары үчүн вакуумдук жаа разрядын колдонгон вакуумдук иондук каптоо технологиясы. Көңдөй катод разрядынын ысык электрондук жаасынан айырмаланып, анын дога формасы муздак катоддун бетинде катод догасынын тактарынын пайда болушу.
Вакуумдук катоддук иондун мүнөздөмөлөрүcoбулар:
(1) буулануу булагы эриген бассейндин кереги жок катоддун максаттуу булагынан түздөн-түз плазманы түзүүчү катуу катоддук бутага. Арктын максаттуу булагы бир калыпта жабууну камсыз кылуу үчүн ар кандай багытта жана бир нече булактарда жайгаштырылышы мүмкүн.
(2) Жабдуу түзүмү салыштырмалуу жөнөкөй, жумушчу газ же көмөкчү иондоштуруу ыкмаларынын кереги жок. Арктын максаттуу булагы катоддук материал үчүн буулануу булагы гана эмес, ошондой эле ион булагы болуп саналат; Реактивдүү туташтыруу учурунда реактивдүү газ гана болот жана атмосфера жөнөкөй толук басымды башкаруу аркылуу башкарылат.
(3) Иондошуу ылдамдыгы жогору, жалпысынан 60% ~ 80% га чейин жетет жана депозиттик ылдамдыгы жогору.
(4) Окуя ионунун энергиясы жогору, ал эми салынган пленканын пленка/субстрат байланыш күчү жакшы.
(5) коопсуз иштөө үчүн төмөнкү чыңалуудагы электр булагы колдонуу.
(6) Ал металл пленкаларын, эритме пленкаларын салып, реакцияга киргизип, ар кандай татаал пленкаларды (аммиак кошулмалары, карбиддер, оксиддер) синтездей алат, ал тургай DLC пленкаларын, CN пленкаларын ж.б. синтездей алат. Анын кемчилиги - бул чөктүрүүдө максаттуу бетинен суюктуктун кичинекей тамчылары чачырап, капталган пленка катмарында конденсацияланып, пленкалуу катмардын катмарын жогорулатат. Азыркы учурда, бул микро тамчыларды азайтуу жана жок кылуу үчүн көптөгөн натыйжалуу ыкмалары изилденген.
Вакуумдук дога ионуcoинструменттер жана калыптар үчүн өтө катуу коргоочу каптоолорду жабуу үчүн технология кеңири колдонулат. Кино системалары TiN, ZrN, HfN, TiAIN, TiC, TiNC, CrN, Al2O3, DLC, ж.б. кирет. Каптоо буюмдары куралдарды, калыптарды, ж.б. имитациялоо алтын жана түстүү кооздук коргоочу каптамаларды камтыйт, кино системалары TiN, ZrN, TiAIN, TiAINC, TC, TiNC, DLC, TiAIN, TiAINC, TC, TiNC, DLC, ZrN, ZRR жана түстүү тасмаларды камтыйт. мылтык кара, кара, кызгылт көк, күрөң, көк Жашыл боз, ж.б.
Көп догалуу ионcoКесүүчү шаймандар, калыптар жана дат баспас болоттон жасалган плиталар сыяктуу материалдардын бетине жасалгалоочу жана эскирүүгө туруктуу катуу пленка катмарларын каптоодо кеңири колдонулуучу жана күчтүү практикалык касиетке ээ.
Посттун убактысы: 17-август-2023