Pêçandina çavkaniya buharbûna berxwedanê rêbazeke bingehîn a pêçandina buharbûna valahiyê ye. "Buharbûn" behsa rêbazeke amadekirina fîlma zirav dike ku tê de materyalê pêçandinê di odeya valahiyê de tê germkirin û buharkirin, da ku atom an molekulên materyalê buhar bibin û ji rûyê wê birevin, diyardeyeke herikîna buharê çêbikin, li ser rûyê substratê an jî substratê bikevin, û di dawiyê de ji bo çêkirina fîlmek hişk kondens bibin.
Rêbaza pêçandina çavkaniya buharbûna berxwedanê ew e ku tantalum, molîbden, tungsten û metalên din ên xala helandinê ya bilind bikar bînin da ku şeklek guncaw ji çavkaniya buharbûnê çêbikin, ku bi materyalên ku werin buharkirin tê barkirin, bila hewa derbas bibe, materyalên buharkirî rasterast germ bikin û buhar bikin, an jî materyalên ku werin buharkirin têxin nav alumina, oksîda beryllium û xaçerêyên din ji bo germkirin û buharkirina nerasterast. Ev rêbaza buharkirina germkirina berxwedanê ye.
Ewmakîneya pêçandina buharbûna valahiyêGermkirin û buharkirina bi germkirina berxwedanê xwedî avantajên avahiya hêsan, lêçûna kêm û karanîna pêbawer e. Ew dikare ji bo pêçandina buharkirinê ya materyalên bi xala helandinê ya nizm, nemaze ji bo hilberîna girseyî ya ku daxwazên kêm ji bo kalîteya pêçandinê hene, were bikar anîn. Heta niha, hîn jî hejmareke mezin ji pêvajoyên pêçandinê yên germkirina berxwedanê û buharkirinê di hilberîna neynikên alumînyûmîzekirî de têne bikar anîn.
Dezawantajên rêbaza pêçandina buharkirina çavkaniya buharkirina berxwedanê ew in ku germahiya herî zêde ya ku bi germkirinê dikare were bidestxistin sînordar e, û temenê karûbarê germkerê jî kurt e. Di salên dawî de, ji bo baştirkirina temenê çavkaniya buharkirina berxwedanê, kargeha alavan materyalê seramîk ê guhêrbar ê ku ji hêla nîtrîda boronê ve hatî sentezkirin bi temenê dirêj wekî çavkaniya buharkirinê pejirand. Li gorî raporek patenta Japonî, ew dikare materyalên ku ji 20%~30% nîtrîda boronê û materyalên agirkuj pêk tên bikar bîne ku dikarin bi wê re werin hev kirin da ku çavkaniya buharkirinê (xaçerê) çêbike, û rûyê wê bi qatek zirkonyûmê ku 62%~82% tê de heye bipêçe, û yên mayî jî materyalên alloyên zirkonyûm-silîkonê ne.
Dema weşandinê: 22ê Nîsanê-2023