Îyona arka katoda valahiyêcoating wekî valahiya arc tê kurtkirincoGer du an bêtir çavkaniyên buharbûna kevana valahiyê (ku wekî çavkaniyên kevanê têne binavkirin) werin bikar anîn, jê re îyona pir-kevan tê gotin.coavêtin an pir-kevancoatkirin. Ew teknolojiyeke pêçandina îyonên valahiyê ye ku ji bo çavkaniyên buharbûnê rijandina kevana valahiyê bikar tîne. Berevajî kevana elektrona germ a rijandina katoda vala, forma kevana wê avakirina xalên kevana katodê li ser rûyê katoda sar e.
Taybetmendiyên îyonê arka katodê valahiyêcoaxaftin ev in:
(1) Çavkaniya buharbûnê hedefeke katodê ya zexm e, ku rasterast ji çavkaniya hedefa katodê plazmayê çêdike bêyî ku hewcedariya wê bi hewzeke helandî hebe. Çavkaniya hedefa kevanê dikare di her alî û gelek çavkaniyan de were rêzkirin da ku pêçandina yekreng misoger bibe.
(2) Avahiya alavan nisbeten hêsan e, bêyî ku hewcedariya bi gaza kar an rêbazên îyonîzasyonê yên alîkar hebe. Çavkaniya hedefa kevanê ne tenê çavkaniyek buharbûnê ye ji bo materyalê katodê, lê di heman demê de çavkaniyek îyonê ye jî; Di dema danîna reaktîf de, tenê gaza reaktîf heye, û atmosfer bi karanîna kontrola zexta tevahî ya hêsan tê kontrol kirin.
(3) Rêjeya iyonîzasyonê bilind e, bi gelemperî digihîje %60~%80, û rêjeya danînê jî bilind e.
(4) Enerjiya îyonê ya ketî zêde ye, û hêza girêdana fîlm/substratê ya fîlma razayî baş e.
(5) Ji bo xebitandina ewle, bikaranîna dabînkerê hêzê yê voltaja nizm.
(6) Ew dikare fîlmên metal, fîlmên alloy razîne, fîlmên cûrbecûr ên pêkhatî (têkelên amonyak, karbîd, oksîd) reaksiyon bike û sentez bike, û heta fîlmên DLC, fîlmên CN, û hwd. sentez bike. Dezavantaja wê ev e ku di dema razandinê de, dilopên piçûk ên şilavê ji rûyê hedef diherikin, ku di qata fîlmê ya pêçayî de kom dibin û hişkiya qata fîlmê zêde dikin. Niha, gelek rêbazên bi bandor hatine lêkolîn kirin da ku van dilopên mîkro kêm bikin û ji holê rakin.
Îyona kevana valahiyêcoTeknolojiya pêçandinê bi berfirehî ji bo pêçandina pêlavên parastinê yên pir hişk ji bo amûr û qaliban tê bikar anîn. Sîstemên fîlmê TiN, ZrN, HfN, TiAIN, TiC, TiNC, CrN, Al2O3, DLC, hwd. hene. Berhemên pêçandinê amûr, qalib, hwd. hene. Ji hêla pêlavên parastinê yên xemilandî yên rengîn û zêrên teqlîdkirî ve, pergalên fîlmê TiN, ZrN, TiAIN, TiAINC, TC, TiNC, DLC, Ti-ON, TONC, ZrCN, Zr-ON, hwd. hene. Sîstemên fîlmê rengîn reş, reş, binefşî, qehweyî, şîn, kesk, gewr û hwd. hene.
Îyona pir-kevanîcoAting xwedî rêzek fireh ji sepanan û pratîkek xurt e, nemaze di pêçandina tebeqeyên fîlmên hişk ên xemilandî û li hember aşînê berxwedêr de li ser rûyên materyalan wekî amûrên birrînê, qalib û plakayên pola zengarnegir.
Dema weşandinê: 17ê Tebaxa 2023an