저항 증발원 코팅은 기본적인 진공 증발 코팅 방법입니다. "증발"은 진공 챔버 내의 코팅 재료를 가열하여 증발시키는 박막 제조 방법을 의미하며, 이때 재료 원자 또는 분자가 기화되어 표면에서 빠져나가면서 증기 흐름 현상을 형성하고, 이 증기 흐름이 기판 또는 기판 표면에 입사하여 최종적으로 응축되어 고체 막을 형성합니다.
소위 저항 가열 증착원 코팅법은 탄탈륨, 몰리브덴, 텅스텐 등의 고융점 금속을 사용하여 적절한 형태의 증착원을 만들고, 증착할 재료를 채운 후 공기를 흐르게 하여 증착된 재료를 직접 가열하여 증착시키거나, 또는 증착할 재료를 알루미나, 산화베릴륨 등의 도가니에 넣어 간접 가열하여 증착시키는 방식입니다. 이것이 저항 가열 증착법입니다.
그만큼진공 증착 코팅기저항 가열로에 의한 가열 및 증발 코팅은 구조가 간단하고, 비용이 저렴하며, 신뢰성 있는 사용이라는 장점이 있습니다. 저융점 재료의 증발 코팅, 특히 코팅 품질에 대한 요구 사항이 낮은 대량 생산에 사용될 수 있습니다. 현재까지 알루미늄 도금 거울 생산에는 저항 가열 및 증발 코팅 공정이 다양하게 사용되고 있습니다.
저항 증발원 증발 코팅법의 단점은 가열로 도달할 수 있는 최대 온도가 제한적이고 히터의 수명이 짧다는 것입니다.최근 저항 증발원의 수명을 향상시키기 위해 장비 공장에서는 수명이 긴 질화붕소로 합성된 전도성 세라믹 재료를 증발원으로 채택했습니다.일본 특허 보고서에 따르면, 20%~30%의 질화붕소와 이를 융합할 수 있는 내화성 재료로 구성된 재료를 사용하여 증발원(도가니)을 만들고, 표면을 62%~82%의 지르코늄 층으로 코팅하고 나머지는 지르코늄-실리콘 합금 재료로 코팅할 수 있습니다.
게시 시간: 2023년 4월 22일