진공 음극 아크 이온coating은 vacuum arc로 줄여서 쓴다.co두 개 이상의 진공 아크 증발원(아크원이라고 함)을 사용하는 경우 다중 아크 이온이라고 합니다.co에이팅 또는 멀티 아크co증착. 진공 아크 방전을 증발원으로 사용하는 진공 이온 코팅 기술입니다. 중공 음극 방전의 열전자 아크와는 달리, 아크 형태는 냉음극 표면에 음극 아크 스팟이 형성되는 방식입니다.
진공음극 아크 이온의 특성coating은 다음과 같습니다.
(1) 증발원은 고체 음극 타겟으로, 용융 풀 없이 음극 타겟 소스로부터 직접 플라즈마를 생성합니다. 아크 타겟 소스는 임의의 방향으로 배치할 수 있으며, 여러 개의 소스를 사용하여 균일한 코팅을 보장합니다.
(2) 장비 구조가 비교적 간단하여 작동 가스나 보조 이온화 방법이 필요하지 않습니다. 아크 타겟 소스는 양극 재료의 증발원일 뿐만 아니라 이온 소스이기도 합니다. 반응성 증착 시에는 반응성 가스만 존재하며, 분위기는 간단한 전체 압력 제어를 통해 제어됩니다.
(3) 이온화율이 높고 일반적으로 60%~80%에 이르며 증착속도가 빠르다.
(4) 입사 이온 에너지가 높아 증착막의 막/기판 접합력이 좋다.
(5) 안전한 작동을 위해 저전압 전원을 사용하십시오.
(6) 금속막, 합금막을 증착하고, 다양한 화합물막(암모니아 화합물, 탄화물, 산화물)을 반응 및 합성하며, 심지어 DLC, CN막 등을 합성할 수도 있습니다. 단점은 증착 과정에서 대상 표면에서 미세한 액체 방울이 튀어 코팅된 막층에 응축되어 막층의 거칠기를 증가시킨다는 것입니다. 현재 이러한 미세 방울을 줄이고 제거하기 위한 여러 효과적인 방법들이 연구되고 있습니다.
진공 아크 이온co코팅 기술은 공구 및 금형용 초경 보호 코팅에 널리 사용되어 왔습니다. 필름 시스템에는 TiN, ZrN, HfN, TiAlN, TiC, TiNC, CrN, Al₂O₃, DLC 등이 있습니다. 코팅 제품에는 공구, 금형 등이 포함됩니다. 모조 금 및 컬러 장식용 보호 코팅의 경우, 필름 시스템에는 TiN, ZrN, TiAlN, TiAlN, TiAlN, TC, TiNC, DLC, Ti-ON, TONC, ZrCN, Zr-ON 등이 있습니다. 컬러 필름 시스템에는 건블랙, 블랙, 퍼플, 브라운, 블루그린 그레이 등이 있습니다.
멀티 아크 이온co코팅은 광범위한 적용 분야와 뛰어난 실용성을 가지고 있으며, 특히 절삭 공구, 금형, 스테인리스 강판 등의 소재 표면에 장식적이고 내마모성이 뛰어난 단단한 필름 층을 코팅하는 데 적합합니다.
게시 시간: 2023년 8월 17일