ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಾತ್ಮಕ ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಲೇಪನದ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು ಮತ್ತು ಅನ್ವಯಗಳು

ಸ್ಪಟರಿಂಗ್ ಲೇಪನ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ, ರಾಸಾಯನಿಕವಾಗಿ ಸಂಶ್ಲೇಷಿತ ಫಿಲ್ಮ್‌ಗಳನ್ನು ತಯಾರಿಸಲು ಸಂಯುಕ್ತಗಳನ್ನು ಗುರಿಗಳಾಗಿ ಬಳಸಬಹುದು. ಆದಾಗ್ಯೂ, ಗುರಿ ವಸ್ತುವಿನ ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ನಂತರ ಉತ್ಪತ್ತಿಯಾಗುವ ಫಿಲ್ಮ್‌ನ ಸಂಯೋಜನೆಯು ಹೆಚ್ಚಾಗಿ ಗುರಿ ವಸ್ತುವಿನ ಮೂಲ ಸಂಯೋಜನೆಯಿಂದ ಬಹಳವಾಗಿ ವಿಚಲನಗೊಳ್ಳುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಆದ್ದರಿಂದ ಮೂಲ ವಿನ್ಯಾಸದ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸುವುದಿಲ್ಲ. ಶುದ್ಧ ಲೋಹದ ಗುರಿಯನ್ನು ಬಳಸಿದರೆ, ಅಗತ್ಯವಿರುವ ಸಕ್ರಿಯ ಅನಿಲವನ್ನು (ಉದಾ. ಆಕ್ಸೈಡ್ ಫಿಲ್ಮ್‌ಗಳನ್ನು ತಯಾರಿಸುವಾಗ ಆಮ್ಲಜನಕ) ಕೆಲಸ ಮಾಡುವ (ಡಿಸ್ಚಾರ್ಜ್) ಅನಿಲಕ್ಕೆ ಪ್ರಜ್ಞಾಪೂರ್ವಕವಾಗಿ ಬೆರೆಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಇದರಿಂದಾಗಿ ಅದು ಗುರಿ ವಸ್ತುವಿನೊಂದಿಗೆ ರಾಸಾಯನಿಕವಾಗಿ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಿಸಿ ಅದರ ಸಂಯೋಜನೆ ಮತ್ತು ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳ ವಿಷಯದಲ್ಲಿ ನಿಯಂತ್ರಿಸಬಹುದಾದ ತೆಳುವಾದ ಫಿಲ್ಮ್ ಅನ್ನು ಉತ್ಪಾದಿಸುತ್ತದೆ. ಈ ವಿಧಾನವನ್ನು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ "ರಿಯಾಕ್ಷನ್ ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್" ಎಂದು ಕರೆಯಲಾಗುತ್ತದೆ.

ಮೊದಲೇ ಹೇಳಿದಂತೆ, ಡೈಎಲೆಕ್ಟ್ರಿಕ್ ಫಿಲ್ಮ್‌ಗಳು ಮತ್ತು ವಿವಿಧ ಸಂಯುಕ್ತ ಫಿಲ್ಮ್‌ಗಳನ್ನು ಠೇವಣಿ ಮಾಡಲು RF ಸ್ಪಟರಿಂಗ್ ಅನ್ನು ಬಳಸಬಹುದು. ಆದಾಗ್ಯೂ, "ಶುದ್ಧ" ಫಿಲ್ಮ್ ಅನ್ನು ತಯಾರಿಸಲು, "ಶುದ್ಧ" ಗುರಿ, ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಆಕ್ಸೈಡ್, ನೈಟ್ರೈಡ್, ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಅಥವಾ ಇತರ ಸಂಯುಕ್ತ ಪುಡಿಯನ್ನು ಹೊಂದಿರುವುದು ಅವಶ್ಯಕ. ಈ ಪುಡಿಗಳನ್ನು ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಆಕಾರದ ಗುರಿಯಾಗಿ ಸಂಸ್ಕರಿಸಲು ಮೋಲ್ಡಿಂಗ್ ಅಥವಾ ಸಿಂಟರ್ ಮಾಡಲು ಅಗತ್ಯವಾದ ಸೇರ್ಪಡೆಗಳನ್ನು ಸೇರಿಸುವ ಅಗತ್ಯವಿರುತ್ತದೆ, ಇದು ಗುರಿಯ ಶುದ್ಧತೆ ಮತ್ತು ಪರಿಣಾಮವಾಗಿ ಫಿಲ್ಮ್‌ನಲ್ಲಿ ಗಮನಾರ್ಹ ಇಳಿಕೆಗೆ ಕಾರಣವಾಗುತ್ತದೆ. ಆದಾಗ್ಯೂ, ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಾತ್ಮಕ ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್‌ನಲ್ಲಿ, ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಲೋಹಗಳು ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಅನಿಲಗಳನ್ನು ಬಳಸಬಹುದಾದ್ದರಿಂದ, ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಫಿಲ್ಮ್‌ಗಳನ್ನು ತಯಾರಿಸಲು ಅನುಕೂಲಕರ ಪರಿಸ್ಥಿತಿಗಳನ್ನು ಒದಗಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಇತ್ತೀಚಿನ ವರ್ಷಗಳಲ್ಲಿ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಾತ್ಮಕ ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಹೆಚ್ಚಿನ ಗಮನವನ್ನು ಪಡೆದುಕೊಂಡಿದೆ ಮತ್ತು ವಿವಿಧ ಕ್ರಿಯಾತ್ಮಕ ಸಂಯುಕ್ತಗಳ ತೆಳುವಾದ ಫಿಲ್ಮ್‌ಗಳನ್ನು ಅವಕ್ಷೇಪಿಸುವ ಪ್ರಮುಖ ವಿಧಾನವಾಗಿದೆ. ಇದನ್ನು IV, I- ಮತ್ತು IV-V ಸಂಯುಕ್ತಗಳು, ವಕ್ರೀಕಾರಕ ಅರೆವಾಹಕಗಳು ಮತ್ತು ವಿವಿಧ ಆಕ್ಸೈಡ್‌ಗಳ ತಯಾರಿಕೆಯಲ್ಲಿ ವ್ಯಾಪಕವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಉದಾಹರಣೆಗೆ SiC ತೆಳುವಾದ ಫಿಲ್ಮ್‌ಗಳ ಅವಕ್ಷೇಪನವನ್ನು ಶೂಟ್ ಮಾಡಲು ಪಾಲಿಕ್ರಿಸ್ಟಲಿನ್ Si ಮತ್ತು CH./Ar ಅನಿಲಗಳ ಮಿಶ್ರಣದ ಬಳಕೆ, TiN ಹಾರ್ಡ್ ಫಿಲ್ಮ್‌ಗಳನ್ನು ತಯಾರಿಸಲು Ti ಗುರಿ ಮತ್ತು N/Ar, TaO ಅನ್ನು ತಯಾರಿಸಲು Ta ಮತ್ತು O/Ar; ಡೈಎಲೆಕ್ಟ್ರಿಕ್ ತೆಳುವಾದ ಫಿಲ್ಮ್‌ಗಳು, Fe ಮತ್ತು O,/Ar ಅನ್ನು ತಯಾರಿಸಲು -FezO; -FezO. ರೆಕಾರ್ಡಿಂಗ್ ಫಿಲ್ಮ್‌ಗಳು, A1 ಮತ್ತು N/Ar ನೊಂದಿಗೆ AIN ಪೀಜೋಎಲೆಕ್ಟ್ರಿಕ್ ಫಿಲ್ಮ್‌ಗಳು, AI ಮತ್ತು CO/Ar ನೊಂದಿಗೆ A1-CO ಆಯ್ದ ಹೀರಿಕೊಳ್ಳುವ ಫಿಲ್ಮ್‌ಗಳು ಮತ್ತು Y-Ba-Cu ಮತ್ತು O/Ar ನೊಂದಿಗೆ YBaCuO-ಸೂಪರ್ ಕಂಡಕ್ಟಿಂಗ್ ಫಿಲ್ಮ್‌ಗಳು, ಇತ್ಯಾದಿ.

–ಈ ಲೇಖನವನ್ನು ಪ್ರಕಟಿಸಿದವರುನಿರ್ವಾತ ಲೇಪನ ಯಂತ್ರ ತಯಾರಕಗುವಾಂಗ್ಡಾಂಗ್ ಝೆನ್ಹುವಾ