ನಿರ್ವಾತ ಕ್ಯಾಥೋಡ್ ಆರ್ಕ್ ಅಯಾನ್ ಲೇಪನದ ಅವಲೋಕನ

ನಿರ್ವಾತ ಕ್ಯಾಥೋಡ್ ಆರ್ಕ್ ಅಯಾನುcoಅಟಿಂಗ್ ಅನ್ನು ನಿರ್ವಾತ ಚಾಪ ಎಂದು ಸಂಕ್ಷೇಪಿಸಲಾಗಿದೆ.coಎರಡು ಅಥವಾ ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿರ್ವಾತ ಚಾಪ ಆವಿಯಾಗುವಿಕೆ ಮೂಲಗಳನ್ನು (ಚಾಪ ಮೂಲಗಳು ಎಂದು ಕರೆಯಲಾಗುತ್ತದೆ) ಬಳಸಿದರೆ, ಅದನ್ನು ಬಹು ಚಾಪ ಅಯಾನು ಎಂದು ಕರೆಯಲಾಗುತ್ತದೆ.coಅಟಿಂಗ್ ಅಥವಾ ಬಹು ಚಾಪcoಅಟಿಂಗ್. ಇದು ನಿರ್ವಾತ ಅಯಾನು ಲೇಪನ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನವಾಗಿದ್ದು, ಇದು ಆವಿಯಾಗುವಿಕೆಯ ಮೂಲಗಳಿಗೆ ನಿರ್ವಾತ ಚಾಪ ವಿಸರ್ಜನೆಯನ್ನು ಬಳಸುತ್ತದೆ. ಟೊಳ್ಳಾದ ಕ್ಯಾಥೋಡ್ ವಿಸರ್ಜನೆಯ ಬಿಸಿ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನ್ ಚಾಪಕ್ಕಿಂತ ಭಿನ್ನವಾಗಿ, ಇದರ ಚಾಪ ರೂಪವು ಶೀತ ಕ್ಯಾಥೋಡ್‌ನ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ಕ್ಯಾಥೋಡ್ ಚಾಪ ಕಲೆಗಳ ರಚನೆಯಾಗಿದೆ.

ನಿರ್ವಾತ ಕ್ಯಾಥೋಡ್ ಆರ್ಕ್ ಅಯಾನುಗಳ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳುcoಅವುಗಳೆಂದರೆ:

(1) ಆವಿಯಾಗುವಿಕೆಯ ಮೂಲವು ಘನ ಕ್ಯಾಥೋಡ್ ಗುರಿಯಾಗಿದ್ದು, ಕರಗಿದ ಪೂಲ್‌ನ ಅಗತ್ಯವಿಲ್ಲದೆಯೇ ಕ್ಯಾಥೋಡ್ ಗುರಿ ಮೂಲದಿಂದ ಪ್ಲಾಸ್ಮಾವನ್ನು ನೇರವಾಗಿ ಉತ್ಪಾದಿಸುತ್ತದೆ. ಏಕರೂಪದ ಲೇಪನವನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ಆರ್ಕ್ ಗುರಿ ಮೂಲವನ್ನು ಯಾವುದೇ ದಿಕ್ಕಿನಲ್ಲಿ ಮತ್ತು ಬಹು ಮೂಲಗಳಲ್ಲಿ ಜೋಡಿಸಬಹುದು.

(2) ಉಪಕರಣದ ರಚನೆಯು ತುಲನಾತ್ಮಕವಾಗಿ ಸರಳವಾಗಿದೆ, ಕೆಲಸ ಮಾಡುವ ಅನಿಲ ಅಥವಾ ಸಹಾಯಕ ಅಯಾನೀಕರಣ ವಿಧಾನಗಳ ಅಗತ್ಯವಿಲ್ಲ. ಆರ್ಕ್ ಗುರಿ ಮೂಲವು ಕ್ಯಾಥೋಡ್ ವಸ್ತುಗಳಿಗೆ ಆವಿಯಾಗುವಿಕೆಯ ಮೂಲ ಮಾತ್ರವಲ್ಲ, ಅಯಾನು ಮೂಲವೂ ಆಗಿದೆ; ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಾತ್ಮಕ ಶೇಖರಣೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ, ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಾತ್ಮಕ ಅನಿಲ ಮಾತ್ರ ಅಸ್ತಿತ್ವದಲ್ಲಿರುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಸರಳವಾದ ಪೂರ್ಣ ಒತ್ತಡ ನಿಯಂತ್ರಣವನ್ನು ಬಳಸಿಕೊಂಡು ವಾತಾವರಣವನ್ನು ನಿಯಂತ್ರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ.

(3) ಅಯಾನೀಕರಣ ದರವು ಹೆಚ್ಚಾಗಿರುತ್ತದೆ, ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ 60%~80% ತಲುಪುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಶೇಖರಣಾ ದರವು ಹೆಚ್ಚಾಗಿರುತ್ತದೆ.

(೪) ಪತನ ಅಯಾನು ಶಕ್ತಿ ಹೆಚ್ಚಾಗಿರುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಠೇವಣಿ ಮಾಡಿದ ಫಿಲ್ಮ್‌ನ ಫಿಲ್ಮ್/ತಲಾಧಾರ ಬಂಧದ ಬಲವು ಉತ್ತಮವಾಗಿರುತ್ತದೆ.

(5) ಸುರಕ್ಷಿತ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಗಾಗಿ ಕಡಿಮೆ ವೋಲ್ಟೇಜ್ ವಿದ್ಯುತ್ ಸರಬರಾಜನ್ನು ಬಳಸುವುದು.

(6) ಇದು ಲೋಹದ ಫಿಲ್ಮ್‌ಗಳು, ಮಿಶ್ರಲೋಹ ಫಿಲ್ಮ್‌ಗಳನ್ನು ಠೇವಣಿ ಮಾಡಬಹುದು, ವಿವಿಧ ಸಂಯುಕ್ತ ಫಿಲ್ಮ್‌ಗಳನ್ನು (ಅಮೋನಿಯಾ ಸಂಯುಕ್ತಗಳು, ಕಾರ್ಬೈಡ್‌ಗಳು, ಆಕ್ಸೈಡ್‌ಗಳು) ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಿಸಬಹುದು ಮತ್ತು ಸಂಶ್ಲೇಷಿಸಬಹುದು ಮತ್ತು DLC ಫಿಲ್ಮ್‌ಗಳು, CN ಫಿಲ್ಮ್‌ಗಳು ಇತ್ಯಾದಿಗಳನ್ನು ಸಹ ಸಂಶ್ಲೇಷಿಸಬಹುದು. ಇದರ ಅನಾನುಕೂಲವೆಂದರೆ ಶೇಖರಣೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ, ಗುರಿ ಮೇಲ್ಮೈಯಿಂದ ದ್ರವದ ಸಣ್ಣ ಹನಿಗಳು ಚಿಮ್ಮುತ್ತವೆ, ಇದು ಲೇಪಿತ ಫಿಲ್ಮ್ ಪದರದಲ್ಲಿ ಸಾಂದ್ರೀಕರಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಫಿಲ್ಮ್ ಪದರದ ಒರಟುತನವನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸುತ್ತದೆ. ಪ್ರಸ್ತುತ, ಈ ಸೂಕ್ಷ್ಮ ಹನಿಗಳನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಲು ಮತ್ತು ತೆಗೆದುಹಾಕಲು ಅನೇಕ ಪರಿಣಾಮಕಾರಿ ವಿಧಾನಗಳನ್ನು ಅಧ್ಯಯನ ಮಾಡಲಾಗಿದೆ.

ನಿರ್ವಾತ ಚಾಪ ಅಯಾನುcoಉಪಕರಣಗಳು ಮತ್ತು ಅಚ್ಚುಗಳಿಗೆ ಸೂಪರ್‌ಹಾರ್ಡ್ ರಕ್ಷಣಾತ್ಮಕ ಲೇಪನಗಳನ್ನು ಲೇಪಿಸಲು ಅಟಿಂಗ್ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನವನ್ನು ವ್ಯಾಪಕವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಫಿಲ್ಮ್ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳಲ್ಲಿ TiN, ZrN, HfN, TiAIN, TiC, TiNC, CrN, Al2O3, DLC, ಇತ್ಯಾದಿ ಸೇರಿವೆ. ಲೇಪನ ಉತ್ಪನ್ನಗಳಲ್ಲಿ ಉಪಕರಣಗಳು, ಅಚ್ಚುಗಳು ಇತ್ಯಾದಿ ಸೇರಿವೆ. ಅನುಕರಣೆ ಚಿನ್ನ ಮತ್ತು ಬಣ್ಣದ ಅಲಂಕಾರಿಕ ರಕ್ಷಣಾತ್ಮಕ ಲೇಪನಗಳ ವಿಷಯದಲ್ಲಿ, ಫಿಲ್ಮ್ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳಲ್ಲಿ TiN, ZrN, TiAIN, TiAINC, TC, TiNC, DLC, Ti-ON, TONC, ZrCN, Zr-ON, ಇತ್ಯಾದಿ ಸೇರಿವೆ. ಬಣ್ಣದ ಫಿಲ್ಮ್ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳಲ್ಲಿ ಗನ್ ಕಪ್ಪು, ಕಪ್ಪು, ನೇರಳೆ, ಕಂದು, ನೀಲಿ ಹಸಿರು ಬೂದು, ಇತ್ಯಾದಿ ಸೇರಿವೆ.

ಬಹು ಚಾಪ ಅಯಾನುcoಏಟಿಂಗ್ ವ್ಯಾಪಕ ಶ್ರೇಣಿಯ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳನ್ನು ಮತ್ತು ಬಲವಾದ ಪ್ರಾಯೋಗಿಕತೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ, ವಿಶೇಷವಾಗಿ ಕತ್ತರಿಸುವ ಉಪಕರಣಗಳು, ಅಚ್ಚುಗಳು ಮತ್ತು ಸ್ಟೇನ್‌ಲೆಸ್ ಸ್ಟೀಲ್ ಪ್ಲೇಟ್‌ಗಳಂತಹ ವಸ್ತುಗಳ ಮೇಲ್ಮೈಗಳಲ್ಲಿ ಅಲಂಕಾರಿಕ ಮತ್ತು ಉಡುಗೆ-ನಿರೋಧಕ ಹಾರ್ಡ್ ಫಿಲ್ಮ್ ಪದರಗಳನ್ನು ಲೇಪಿಸುವಲ್ಲಿ.