នៅក្នុងដំណើរការថ្នាំកូត sputtering សមាសធាតុអាចត្រូវបានប្រើជាគោលដៅសម្រាប់ការរៀបចំខ្សែភាពយន្តសំយោគគីមី។ ទោះជាយ៉ាងណាក៏ដោយ សមាសភាពនៃខ្សែភាពយន្តដែលបានបង្កើតបន្ទាប់ពីការបែកខ្ញែកនៃសម្ភារៈគោលដៅ ជារឿយៗមានភាពខុសគ្នាយ៉ាងខ្លាំងពីសមាសភាពដើមនៃសម្ភារៈគោលដៅ ហើយដូច្នេះវាមិនបំពេញតាមតម្រូវការនៃការរចនាដើមនោះទេ។ ប្រសិនបើគោលដៅលោហៈសុទ្ធត្រូវបានប្រើប្រាស់ ឧស្ម័នសកម្មដែលត្រូវការ (ឧ. អុកស៊ីហ៊្សែននៅពេលរៀបចំខ្សែភាពយន្តអុកស៊ីដ) ត្រូវបានលាយបញ្ចូលគ្នាទៅក្នុងឧស្ម័នដែលកំពុងធ្វើការ (បញ្ចេញ) ដូច្នេះវាមានប្រតិកម្មគីមីជាមួយនឹងវត្ថុធាតុគោលដៅដើម្បីបង្កើតខ្សែភាពយន្តស្តើងដែលអាចគ្រប់គ្រងបានក្នុងលក្ខខណ្ឌនៃសមាសភាព និងលក្ខណៈរបស់វា។ វិធីសាស្រ្តនេះត្រូវបានគេសំដៅជាញឹកញាប់ថាជា "ប្រតិកម្ម sputtering" ។
ដូចដែលបានរៀបរាប់ខាងលើ RF sputtering អាចត្រូវបានប្រើដើម្បីដាក់ខ្សែភាពយន្ត dielectric និងខ្សែភាពយន្តសមាសធាតុផ្សេងៗ។ ទោះយ៉ាងណាក៏ដោយ ដើម្បីរៀបចំខ្សែភាពយន្ត "បរិសុទ្ធ" ចាំបាច់ត្រូវមានគោលដៅ "បរិសុទ្ធ" អុកស៊ីដ នីត្រាត កាបូន ឬម្សៅសមាសធាតុផ្សេងទៀត។ ការកែច្នៃម្សៅទាំងនេះទៅជាគោលដៅនៃរូបរាងជាក់លាក់មួយ តម្រូវឱ្យមានការបន្ថែមសារធាតុបន្ថែមដែលចាំបាច់សម្រាប់ការធ្វើផ្សិត ឬ sintering ដែលនាំឱ្យមានការថយចុះគួរឱ្យកត់សម្គាល់នៃភាពបរិសុទ្ធនៃគោលដៅ និងខ្សែភាពយន្តលទ្ធផល។ ទោះជាយ៉ាងណាក៏ដោយ នៅក្នុងការបាញ់ទឹកដែលមានប្រតិកម្ម ចាប់តាំងពីលោហធាតុដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ និងឧស្ម័នដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់អាចត្រូវបានប្រើ លក្ខខណ្ឌងាយស្រួលត្រូវបានផ្តល់ជូនសម្រាប់ការរៀបចំខ្សែភាពយន្តដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់។ ការបញ្ចេញទឹករំអិលដែលមានប្រតិកម្មបានទទួលការចាប់អារម្មណ៍កាន់តែខ្លាំងឡើងក្នុងប៉ុន្មានឆ្នាំថ្មីៗនេះ ហើយបានក្លាយទៅជាវិធីសាស្រ្តដ៏សំខាន់មួយសម្រាប់ precipitating ខ្សែភាពយន្តស្តើងនៃសមាសធាតុមុខងារផ្សេងៗ។ វាត្រូវបានគេប្រើយ៉ាងទូលំទូលាយក្នុងការផលិតសមាសធាតុ IV, I- និង IV-V សារធាតុ semiconductors refractory និងអុកស៊ីដជាច្រើនប្រភេទ ដូចជាការប្រើប្រាស់ឧស្ម័ន polycrystalline Si និង CH./Ar ដើម្បីបាញ់ទឹកភ្លៀងនៃខ្សែភាពយន្តស្តើង SiC, Ti target និង N/Ar ដើម្បីរៀបចំខ្សែភាពយន្តរឹង TiN, Ta និង O/Ar ដើម្បីរៀបចំ TaO ។ ខ្សែភាពយន្តស្តើង dielectric, Fe និង O, / Ar ដើម្បីរៀបចំ -FezO; - ហ្វេសអូ។ ការថតខ្សែភាពយន្ត ខ្សែភាពយន្ត AIN piezoelectric ជាមួយ A1 និង N/Ar ខ្សែភាពយន្តស្រូបយកជ្រើសរើស A1-CO ជាមួយ AI និង CO/Ar និងខ្សែភាពយន្ត YBaCuO-superconducting ជាមួយ Y-Ba-Cu និង O/Ar ក្នុងចំណោមរឿងផ្សេងទៀត។
- អត្ថបទនេះត្រូវបានចេញផ្សាយដោយក្រុមហ៊ុនផលិតម៉ាស៊ីនបូមធូលីក្វាងទុងហ្សេនហួ
ពេលវេលាប្រកាស៖ ថ្ងៃទី ១៨-២៤ ខែមករា