ម៉ាស៊ីនបូមធូលី cathode arc ioncoating ត្រូវបានអក្សរកាត់ថាជា vacuum arccoកំពុងញ៉ាំ។ ប្រសិនបើប្រភពនៃការហួតធ្នូសុញ្ញកាសពីរ ឬច្រើន (ហៅថាប្រភពធ្នូ) ត្រូវបានគេប្រើ វាត្រូវបានគេហៅថា multi arc ioncoating ឬពហុធ្នូcoកំពុងញ៉ាំ។ វាជាបច្ចេកវិជ្ជានៃការស្រោបដោយអ៊ីយ៉ុងទំនេរដែលប្រើការបញ្ចេញធ្នូសម្រាប់ប្រភពហួត។ មិនដូចធ្នូអេឡិចត្រុងក្តៅនៃការឆក់ cathode ប្រហោងទម្រង់ធ្នូរបស់វាគឺជាការបង្កើតចំណុច cathode arc នៅលើផ្ទៃនៃ cathode ត្រជាក់។
លក្ខណៈនៃការខ្វះចន្លោះ cathode arc ioncoការទទួលទានគឺ៖
(1) ប្រភពរំហួតគឺជាគោលដៅ cathode រឹង ដែលបង្កើតប្លាស្មាដោយផ្ទាល់ពីប្រភពគោលដៅ cathode ដោយមិនចាំបាច់មានអាងរលាយ។ ប្រភពគោលដៅធ្នូអាចត្រូវបានរៀបចំក្នុងទិសដៅណាមួយ និងប្រភពច្រើន ដើម្បីធានាបាននូវថ្នាំកូតឯកសណ្ឋាន។
(2) រចនាសម្ព័នបរិក្ខារគឺសាមញ្ញដោយមិនចាំបាច់ប្រើឧស្ម័នធ្វើការ ឬវិធីសាស្ត្រអ៊ីយ៉ូដជំនួយ។ ប្រភពគោលដៅធ្នូគឺមិនត្រឹមតែជាប្រភពហួតសម្រាប់សម្ភារៈ cathode ប៉ុណ្ណោះទេប៉ុន្តែក៏ជាប្រភពអ៊ីយ៉ុងផងដែរ។ កំឡុងពេលបញ្ចេញប្រតិកម្ម មានតែឧស្ម័នប្រតិកម្មទេ ហើយបរិយាកាសត្រូវបានគ្រប់គ្រងដោយប្រើការគ្រប់គ្រងសម្ពាធពេញលេញធម្មតា។
(3) អត្រាអ៊ីយ៉ូដគឺខ្ពស់ ជាទូទៅឈានដល់ 60% ~ 80% ហើយអត្រានៃការដាក់ប្រាក់គឺខ្ពស់។
(4) ថាមពលអ៊ីយ៉ុងឧបទ្ទវហេតុគឺខ្ពស់ហើយកម្លាំងភ្ជាប់ខ្សែភាពយន្ត / ស្រទាប់ខាងក្រោមនៃខ្សែភាពយន្តដែលបានដាក់គឺល្អ។
(5) ការប្រើប្រាស់ការផ្គត់ផ្គង់ថាមពលតង់ស្យុងទាបសម្រាប់ប្រតិបត្តិការប្រកបដោយសុវត្ថិភាព។
(6) វាអាចដាក់ខ្សែភាពយន្តលោហៈ ខ្សែភាពយន្តយ៉ាន់ស្ព័រ ប្រតិកម្ម និងសំយោគខ្សែភាពយន្តសមាសធាតុផ្សេងៗ (សមាសធាតុអាម៉ូញាក់ កាបូនឌីអុកស៊ីត) និងថែមទាំងអាចសំយោគខ្សែភាពយន្ត DLC ខ្សែភាពយន្ត CN ជាដើម។ គុណវិបត្តិរបស់វាគឺថា កំឡុងពេលបោះចោល ដំណក់ទឹកតូចៗនៃអង្គធាតុរាវត្រូវបានខ្ទាតចេញពីផ្ទៃគោលដៅ ដែលប្រមូលផ្តុំនៅក្នុងស្រទាប់ខ្សែភាពយន្តស្រោប និងបង្កើនភាពរដុប។ បច្ចុប្បន្ននេះ វិធីសាស្រ្តដ៏មានប្រសិទ្ធភាពជាច្រើនត្រូវបានសិក្សាដើម្បីកាត់បន្ថយ និងលុបបំបាត់ដំណក់តូចៗទាំងនេះ។
អ៊ីយ៉ុង arc vacuumcoបច្ចេកវិទ្យា ating ត្រូវបានគេប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយដើម្បីស្រោបស្រទាប់ការពារដ៏រឹងមាំសម្រាប់ឧបករណ៍ និងផ្សិត។ ប្រព័ន្ធខ្សែភាពយន្តរួមមាន TiN, ZrN, HfN, TiAIN, TiC, TiNC, CrN, Al2O3, DLC ជាដើម ផលិតផលថ្នាំកូតរួមមានឧបករណ៍ ផ្សិត។ល។ នៅក្នុងលក្ខខណ្ឌនៃការក្លែងបន្លំពណ៌មាស និងថ្នាំកូតការពារតុបតែងពណ៌ ប្រព័ន្ធខ្សែភាពយន្តរួមមាន TiN, ZrN, TiAIN, TiAINC, TC, TiNC, DLC, ZrCON, ប្រព័ន្ធភាពយន្ត។ល។ កាំភ្លើងខ្មៅ ខ្មៅ ស្វាយ ត្នោត ខៀវ ប្រផេះ បៃតង ជាដើម។
អ៊ីយ៉ុងពហុធ្នូcoating មានកម្មវិធីធំទូលាយ និងការអនុវត្តជាក់ស្តែងខ្លាំង ជាពិសេសក្នុងការស្រោបស្រទាប់ខ្សែភាពយន្តរឹង និងធន់នឹងការពាក់លើផ្ទៃសម្ភារៈដូចជា ឧបករណ៍កាត់ ផ្សិត និងបន្ទះដែកអ៊ីណុក។
ពេលវេលាផ្សាយ៖ ថ្ងៃទី ១៧ ខែសីហា ឆ្នាំ ២០២៣