Кедергілік булану көзінің жабыны - негізгі вакуумды булану жабыны әдісі. «Булану» вакуумдық камерадағы жабын материалы қыздырылған және буланатын, материал атомдары немесе молекулалары буланып, бетінен шығып, бу ағыны құбылысын құрайтын, субстраттың немесе субстраттың бетіне түсіп, ақырында конденсацияланып, қатты қабықша түзетін жұқа қабық дайындау әдісін білдіреді.
Кедергі деп аталатын булану көзін жабу әдісі булану көзінің сәйкес пішінін жасау үшін тантал, молибден, вольфрам және басқа да жоғары балқу температурасы бар металдарды пайдалану болып табылады, ол булануға арналған материалдармен жүктеледі, ауа ағыны арқылы өтеді, буланған материалдарды тікелей қыздырады және буландырады немесе материалдарды басқа қышқылдауға және қышқылдануға, жанама қыздыру және булану. Бұл қарсылық қыздыру булану әдісі.
Theвакуумды булану жабыны машинасырезистенттік қыздырғышпен қыздырылған және буланған қарапайым құрылымның, төмен құнының және сенімді пайдаланудың артықшылықтары бар. Оны балқу температурасы төмен материалдарды булану үшін, әсіресе жабын сапасына төмен талаптарды жаппай өндіру үшін қолдануға болады. Әзірге алюминизирленген айналар өндірісінде қолданылатын резистенттік қыздыру мен буланудың көптеген жабу процестері бар.
Кедергінің булану көзінің булану жабыны әдісінің кемшіліктері қыздыру арқылы жетуге болатын максималды температураның шектелуі, сонымен қатар қыздырғыштың қызмет ету мерзімі де қысқа. Соңғы жылдары тұрақты булану көзінің қызмет ету мерзімін жақсарту үшін жабдық зауыты булану көзі ретінде бор нитридімен синтезделген өткізгіш керамикалық материалды қабылдады. Жапон патентінің есебіне сәйкес, ол булану көзін (тигель) жасау үшін 20% ~ 30% бор нитридінен және онымен балқытуға болатын отқа төзімді материалдардан тұратын материалдарды пайдалана алады және оның бетін 62% ~ 82% құрайтын цирконий қабатымен қаптай алады, ал қалғандары цирконий-кремний қорытпасынан жасалған материалдар.
Жіберу уақыты: 22 сәуір-2023 ж