Шашыратылған жабын процесінде қосылыстар химиялық синтезделген пленкаларды дайындау үшін мақсат ретінде пайдаланылуы мүмкін. Дегенмен, мақсатты материалды шашыратқаннан кейін пайда болған пленка құрамы көбінесе мақсатты материалдың бастапқы құрамынан айтарлықтай ауытқиды, сондықтан бастапқы дизайн талаптарына сәйкес келмейді. Егер таза металды нысана пайдаланылса, қажетті белсенді газ (мысалы, оксидті қабықшаларды дайындау кезінде оттегі) жұмысшы (разрядты) газға саналы түрде араласады, осылайша ол нысана материалмен химиялық әрекеттесіп, оның құрамы мен сипаттамалары бойынша басқарылатын жұқа қабықша түзеді. Бұл әдіс жиі «реакциялық шашырату» деп аталады.
Бұрын айтылғандай, РЖ шашырату диэлектрлік қабықшалар мен әртүрлі құрама қабықшаларды тұндыру үшін қолданылуы мүмкін. Дегенмен, «таза» пленканы дайындау үшін «таза» нысана, жоғары таза оксид, нитрид, карбид немесе басқа қосынды ұнтақ болуы керек. Бұл ұнтақтарды белгілі бір пішіндегі нысанаға өңдеу үшін қалыптау немесе агломерациялау үшін қажетті қоспаларды қосу қажет, бұл нысананың және алынған пленканың тазалығының айтарлықтай төмендеуіне әкеледі. Реактивті шашыратуда, алайда, жоғары таза металдар мен жоғары таза газдарды қолдануға болатындықтан, жоғары тазалықтағы пленкаларды дайындау үшін қолайлы жағдайлар қарастырылған. Соңғы жылдары реактивті шашыратуға көбірек көңіл бөлінді және әртүрлі функционалды қосылыстардың жұқа қабықшаларын тұндырудың негізгі әдісі болды. Ол IV, I- және IV-V қосылыстарын, отқа төзімді жартылай өткізгіштерді және әртүрлі оксидтерді өндіруде кеңінен қолданылды, мысалы, SiC жұқа қабықшаларының тұнбасын түсіру үшін газдардың поликристалды Si және CH./Ar қоспасын, TiN қатты қабықшаларын дайындау үшін Ti мақсатты және N/Ar, Ta және O/O дайындау үшін; диэлектрлік жұқа қабықшалар, Fe және O,/Ar дайындау үшін -FezO; -ФезО. жазатын пленкалар, A1 және N/Ar бар AIN пьезоэлектрлік пленкалар, AI және CO/Ar бар A1-CO селективті абсорбциялық пленкалар және Y-Ba-Cu және O/Ar бар YBaCuO асқын өткізгіш пленкалар және т.б.
– Бұл мақаланы шығарғанвакуумды қаптау машинасының өндірушісіГуандун Чжэнхуа
Жіберу уақыты: 18 қаңтар 2024 ж