Вакуумдық катодты доға ионыcoating вакуумдық доға ретінде қысқартылғанcoжеу. Екі немесе одан да көп вакуумдық доғалық булану көздері (доға көздері деп аталады) пайдаланылса, ол көп доғалы ион деп аталады.coating немесе көп доғаcoжеу. Бұл булану көздері үшін вакуумдық доғалық разрядты пайдаланатын вакуумды ионды жабу технологиясы. Қуыс катодты разрядтың ыстық электронды доғасынан айырмашылығы оның доғалық формасы суық катодтың бетінде катод доғасының дақтарының пайда болуы болып табылады.
Вакуумдық катодты доға ионының сипаттамаларыcoбұл:
(1) Булану көзі қатты катодты нысана болып табылады, ол балқытылған бассейнді қажет етпестен катодтың мақсатты көзінен плазманы тікелей жасайды. Доғаның мақсатты көзін кез келген бағытта және біркелкі жабуды қамтамасыз ету үшін бірнеше көздерде орналастыруға болады.
(2) Жабдық құрылымы салыстырмалы түрде қарапайым, жұмыс газы немесе қосымша иондау әдістерін қажет етпейді. Доғаның нысаналы көзі катодтық материал үшін булану көзі ғана емес, сонымен қатар ион көзі болып табылады; Реактивті тұндыру кезінде тек реактивті газ бар және атмосфера қарапайым толық қысымды басқару арқылы бақыланады.
(3) Иондалу жылдамдығы жоғары, әдетте 60% ~ 80% жетеді және тұндыру жылдамдығы жоғары.
(4) Түскен ион энергиясы жоғары және тұндырылған пленканың пленка/субстрат байланыс күші жақсы.
(5) Қауіпсіз жұмыс істеу үшін төмен вольтты қуат көзін пайдалану.
(6) Ол металл қабықшаларды, легирленген қабыршақтарды тұндырады, әртүрлі құрама қабықшаларды (аммиак қосылыстары, карбидтер, оксидтер) реакцияға түсіріп, синтездей алады, тіпті DLC қабықшаларын, CN қабықшаларын және т.б. синтездей алады. Оның кемшілігі тұндыру кезінде мақсатты бетінен сұйықтықтың ұсақ тамшылары шашырап, қабықша қабатының кедір-бұдырлығын арттырады. Қазіргі уақытта бұл микро тамшыларды азайту және жоюдың көптеген тиімді әдістері зерттелді.
Вакуумдық доғалық ионcoating технологиясы құралдар мен қалыптарға арналған өте қатты қорғаныс жабындарын жабу үшін кеңінен қолданылады. Пленкалық жүйелерге TiN, ZrN, HfN, TiAIN, TiC, TiNC, CrN, Al2O3, DLC, т.б. жатады. Қаптау өнімдеріне құрал-саймандар, қалыптар және т.б. жатады. Алтынға еліктеу және түсті сәндік қорғаныш жабындары бойынша пленка жүйелеріне TiN, ZrN, TiAIN, TiAINC, TC, TiNC, DLC, TiAIN, Ti-ONRN, т.б. мылтық қара, қара, күлгін, қоңыр, көк Жасыл сұр және т.б.
Көп доғалы ионcoating қолданудың кең ауқымы мен күшті практикалық мүмкіндіктеріне ие, әсіресе кескіш құралдар, қалыптар және тот баспайтын болаттан жасалған пластиналар сияқты материалдардың беттеріне сәндік және тозуға төзімді қатты пленка қабаттарын жабуда.
Жіберу уақыты: 17 тамыз 2023 ж