ציפוי מקור אידוי בהתנגדות הוא שיטת ציפוי אידוי בוואקום בסיסית. "אידוי" מתייחס לשיטת הכנת שכבה דקה שבה חומר הציפוי בתא הוואקום מחומם ומתאדה, כך שאטומי או מולקולות החומר מתאדים ובורחים מפני השטח, ויוצרים תופעת זרימת אדים, הפוגעת על פני השטח של המצע או המצע, ולבסוף מתעבה ליצירת שכבה מוצקה.
שיטת ציפוי מקור אידוי בהתנגדות היא שימוש בטנטלום, מוליבדן, טונגסטן ומתכות אחרות בעלות נקודת התכה גבוהה כדי ליצור צורה מתאימה של מקור אידוי, אשר נטען בחומרים המיועדים לאידוי, מאפשר לאוויר לזרום דרכו, מחמם ומאדה ישירות את החומרים המאודים, או מכניס את החומרים המיועדים לאידוי לאלומינה, תחמוצת בריליום וכלי היתוך אחרים לחימום ואידוי עקיפים. זוהי שיטת אידוי בחימום בהתנגדות.
המכונת ציפוי אידוי ואקוםלחימום ואידוי באמצעות מחמם התנגדות יש יתרונות של מבנה פשוט, עלות נמוכה ושימוש אמין. ניתן להשתמש בו לציפוי אידוי של חומרים בעלי נקודת התכה נמוכה, במיוחד לייצור המוני עם דרישות נמוכות לאיכות הציפוי. עד כה, עדיין קיימים מספר רב של תהליכי ציפוי של חימום ואידוי בהתנגדות המופעלים בייצור מראות מצופות אלומיניום.
החסרונות של שיטת ציפוי אידוי של מקור אידוי התנגדות הם שהטמפרטורה המקסימלית שניתן להגיע אליה באמצעות חימום מוגבלת, וגם חיי השירות של החימום קצרים. בשנים האחרונות, על מנת לשפר את חיי מקור האידוי ההתנגדות, מפעל הציוד אימץ חומר קרמי מוליך המסונתז על ידי בורון ניטריד בעל אורך חיים ארוך כמקור אידוי. על פי דו"ח פטנט יפני, ניתן להשתמש בחומרים המורכבים מ-20%~30% בורון ניטריד וחומרים עקשן שניתן להתיך איתם ליצירת מקור האידוי (כור היתוך), ולצפות את פני השטח שלו בשכבת זירקוניום המכילה 62%~82%, והשאר חומרים מסגסוגת זירקוניום-סיליקון.
זמן פרסום: 22 באפריל 2023