סקירה כללית של ציפוי יוני קשת קתודה ואקום

יון קשת קתודה ואקוםcoקיצור של קשת ואקום הוא ating.coאם משתמשים בשני מקורות אידוי קשת ואקום או יותר (המכונים מקורות קשת), זה נקרא יוני קשת מרובים.coקשת או קשת מרובתcoאטינג. זוהי טכנולוגיית ציפוי יונים בוואקום המשתמשת בפריקת קשת ואקום עבור מקורות אידוי. בניגוד לקשת אלקטרונים חמה של פריקת קתודה חלולה, צורת הקשת שלה היא היווצרות של נקודות קשת קתודה על פני הקתודה הקרה.

המאפיינים של יון קשת קתודה ואקוםcoאטינג הם:

(1) מקור האידוי הוא מטרת קתודה מוצקה, המייצרת פלזמה ישירות ממקור מטרת הקתודה ללא צורך בבריכת מותך. ניתן לסדר את מקור מטרת הקשת בכל כיוון ומקורות מרובים כדי להבטיח ציפוי אחיד.

(2) מבנה הציוד פשוט יחסית, ללא צורך בגז עבודה או בשיטות יינון עזר. מקור מטרת הקשת אינו רק מקור אידוי לחומר הקתודה, אלא גם מקור יונים; במהלך שיקוע ריאקטיבי, קיים רק גז ריאקטיבי, והאטמוספרה נשלטת באמצעות בקרת לחץ מלאה פשוטה.

(3) קצב היינון גבוה, בדרך כלל מגיע ל-60% ~ 80%, וקצב השיקוע גבוה.

(4) אנרגיית היונים הפוגעים גבוהה, וכוח הקישור בין הסרט למצע של הסרט המופקד טוב.

(5) שימוש באספקת חשמל במתח נמוך לצורך פעולה בטוחה.

(6) הוא יכול להפקיד שכבות מתכת, שכבות סגסוגת, להגיב ולסנתז שכבות מורכבות שונות (תרכובות אמוניה, קרבידים, תחמוצות), ואפילו לסנתז שכבות DLC, שכבות CN וכו'. החיסרון שלו הוא שבמהלך ההפקדה, טיפות זעירות של נוזל ניתזות מפני השטח של המטרה, אשר מתעבות בשכבת הסרט המצופה ומגבירות את חספוס שכבת הסרט. נכון לעכשיו, נחקרו שיטות יעילות רבות כדי להפחית ולחסל את טיפות המיקרו הללו.

יון קשת ואקוםcoטכנולוגיית ציפוי נמצאת בשימוש נרחב לציפוי ציפויי הגנה קשיחים במיוחד עבור כלים ותבניות. מערכות ציפוי כוללות TiN, ZrN, HfN, TiAIN, TiC, TiNC, CrN, Al2O3, DLC וכו'. מוצרי ציפוי כוללים כלים, תבניות וכו'. מבחינת חיקוי זהב וציפויי הגנה דקורטיביים צבעוניים, מערכות ציפוי כוללות TiN, ZrN, TiAIN, TiAINC, TC, TiNC, DLC, Ti-ON, TONC, ZrCN, Zr-ON וכו'. מערכות ציפוי צבעוניות כוללות שחור, שחור, סגול, חום, כחול-ירוק-אפור וכו'.

יון קשת רבcoלציפוי מגוון רחב של יישומים ופרקטיות חזקה, במיוחד בציפוי שכבות סרט קשיח דקורטיביות ועמידות בפני שחיקה על משטחי חומרים כגון כלי חיתוך, תבניות ולוחות נירוסטה.