Uppgufunarhúðun með viðnámsgufu er grunn aðferð við uppgufun í lofttæmi. „Uppgufun“ vísar til aðferðar við undirbúning þunnfilmu þar sem húðunarefnið er hitað og gufað upp í lofttæmishólfinu, þannig að efnisatóm eða sameindirnar gufa upp og sleppa frá yfirborðinu og mynda gufuflæði, sem lendir á yfirborði undirlagsins eða undirlagsins og að lokum þéttist til að mynda fasta filmu.
Svokölluð aðferð til að húða uppgufunargjafa með viðnámshitun felst í því að nota tantal, mólýbden, wolfram og önnur málma með háu bræðslumarki til að búa til uppgufunargjafa í viðeigandi lögun. Uppgufunargjafinn er síðan fylltur með efni sem á að gufa upp, loftið streymir í gegn og uppgufaði efnin beint, eða efnin sem á að gufa upp eru sett í deiglur með áloxíði, beryllíumoxíði og öðrum til óbeinnar upphitunar og uppgufunar. Þetta er uppgufunaraðferð með viðnámshitun.
Hinntómarúm uppgufunarhúðunarvélHitun og uppgufun með viðnámshitara hefur kosti eins og einfalda uppbyggingu, lágan kostnað og áreiðanlega notkun. Það er hægt að nota það til uppgufunarhúðunar á efnum með lágt bræðslumark, sérstaklega fyrir fjöldaframleiðslu með lágum kröfum um gæði húðunar. Hingað til eru fjölmargar húðunaraðferðir með viðnámshitun og uppgufun notaðar við framleiðslu á álhúðuðum speglunum.
Ókostir við uppgufunarhúðun viðnámsuppgufunargjafa eru að hámarkshitastigið sem hægt er að ná með upphitun er takmarkað og endingartími hitara er einnig stuttur. Á undanförnum árum, til að bæta líftíma uppgufunargjafans, hafa verksmiðjur tekið upp leiðandi keramikefni sem er búið til úr bórnítríði með langri endingu sem uppgufunargjafa. Samkvæmt japönsku einkaleyfisskýrslu er hægt að nota efni sem samanstendur af 20%~30% bórnítríði og eldföstum efnum sem hægt er að bræða saman við það til að búa til uppgufunargjafann (deiglu) og húða yfirborð þess með lagi af sirkon sem inniheldur 62%~82%, og afgangurinn er sirkon-kísill málmblönduefni.
Birtingartími: 22. apríl 2023