LofttæmiskatóðubogajóncoLofttæmisbogi er skammstafað sem lofttæmisbogicoEf tvær eða fleiri lofttæmisbogauppgufunargjafar (kallaðar bogagjafar) eru notaðar er það kallað fjölbogajónun.coating eða fjölbogacoÞetta er lofttæmis jónhúðunartækni sem notar lofttæmisbogaútblástur fyrir uppgufunargjafa. Ólíkt heitum rafeindaboga í holu katóðuútblástur, er bogaformið myndun katóðubogabletta á yfirborði kalda katóðunnar.
Einkenni lofttæmiskatóðubogajónacoað borða eru:
(1) Uppgufunargjafinn er fast katóðumarkmið sem framleiðir plasma beint frá katóðumarkmiðsgjafanum án þess að þörf sé á bráðnu laug. Hægt er að raða bogamarkmiðsgjafanum í hvaða átt sem er og með mörgum uppsprettum til að tryggja einsleita húðun.
(2) Uppbygging búnaðarins er tiltölulega einföld, án þess að þörf sé á vinnugasi eða hjálparjónunaraðferðum. Markmiðsljósbogans er ekki aðeins uppgufunargjafi fyrir katóðuefnið, heldur einnig jónagjafi; við hvarfgjörn útfellingu er aðeins hvarfgjörn gas til staðar og andrúmsloftið er stjórnað með einfaldri fullri þrýstistýringu.
(3) Jónunarhraðinn er hár, almennt 60% ~ 80%, og útfellingarhraðinn er hár.
(4) Orka innfallandi jóna er mikil og límingarkraftur filmu/undirlags í settri filmu er góður.
(5) Notkun lágspennuaflgjafa til að tryggja örugga notkun.
(6) Það getur sett málmfilmur, málmblöndufilmur, hvarfað og myndað ýmsar efnasambönd (ammóníaksambönd, karbíð, oxíð) og jafnvel myndað DLC filmur, CN filmur o.s.frv. Ókosturinn er að við útfellingu skvettast örsmáir vökvadropar af markfletinum, sem þéttast í húðuðu filmulaginu og auka grófleika filmulagsins. Nú hafa margar árangursríkar aðferðir verið rannsakaðar til að draga úr og útrýma þessum ördropum.
LofttæmisbogajóncoHúðunartækni hefur verið mikið notuð til að húða ofurharðar verndarhúðanir fyrir verkfæri og mót. Filmukerfi eru meðal annars TiN, ZrN, HfN, TiAIN, TiC, TiNC, CrN, Al2O3, DLC, o.s.frv. Meðal húðunarvara eru verkfæri, mót, o.s.frv. Hvað varðar eftirlíkingargull og litaðar skreytingarhúðanir eru filmukerfin meðal annars TiN, ZrN, TiAIN, TiAINC, TC, TiNC, DLC, Ti-ON, TONC, ZrCN, Zr-ON, o.s.frv. Litfilmukerfi eru meðal annars byssusvart, svart, fjólublátt, brúnt, blágrænt grátt, o.s.frv.
FjölbogajóncoÞéttni hefur fjölbreytt notkunarsvið og mikla hagnýtingu, sérstaklega við að húða skreytingar- og slitþolnar harðar filmur á yfirborð efna eins og skurðarverkfæra, mót og ryðfríu stálplötur.
Birtingartími: 17. ágúst 2023