Njirimara mkpuchi mkpuchi na-arụ ọrụ na ngwa

N'ime usoro mkpuchi sputtering, enwere ike iji ogige mee ihe dị ka ebumnuche maka nkwadebe nke ihe nkiri na-emepụta kemịkal. Otú ọ dị, ihe mejupụtara nke ihe nkiri a na-emepụta mgbe sputtering nke lekwasịrị anya ihe na-emekarị deviates ukwuu site na mbụ mejupụtara nke lekwasịrị ihe onwunwe, ya mere adịghị ezute ihe ndị chọrọ nke mbụ imewe. Ọ bụrụ na a na-eji ihe mgbaru ọsọ ígwè dị ọcha mee ihe, gas na-arụ ọrụ achọrọ (dịka ọmụmaatụ, oxygen mgbe ị na-akwadebe ihe nkiri oxide) na-ejikọta ya n'amaghị ama n'ime gas na-arụ ọrụ (na-agbapụta), nke mere na ọ na-emeghachi ihe na-emepụta ihe na-emepụta ihe nkiri dị mkpa nke nwere ike ịchịkwa n'ihe gbasara ihe mejupụtara ya na njirimara ya. A na-akpọkarị usoro a dị ka "nkwụsị mmeghachi omume".

Dịka e kwuru na mbụ, enwere ike iji sputtering RF tinye ihe nkiri dielectric na ihe nkiri dị iche iche. Otú ọ dị, iji kwadebe ihe nkiri "dị ọcha", ọ dị mkpa ịnwe ebumnuche "dị ọcha", oxide dị elu dị ọcha, nitride, carbide, ma ọ bụ ntụ ntụ ndị ọzọ. Ịhazi ntụ ntụ ndị a n'ime ebumnuche nke ụdị ụfọdụ chọrọ mgbakwunye nke ihe mgbakwunye dị mkpa maka ịkpụzi ma ọ bụ sintering, nke na-ebute mbelata dị ukwuu na ịdị ọcha nke ihe mgbaru ọsọ na ihe nkiri na-esi na ya pụta. Na reactive sputtering, Otú ọ dị, ebe ọ bụ na a pụrụ iji ọla dị elu na-adị ọcha na gas dị ọcha, a na-enye ọnọdụ dị mma maka nkwadebe nke ihe nkiri dị elu. Nlebara anya na-arịbawanye nke ọma n'afọ ndị na-adịbeghị anya ma bụrụ ụzọ bụ isi maka iwepụta ihe nkiri dị mkpa nke ogige arụ ọrụ dị iche iche. A na-ejikarị ya eme ihe na-emepụta ogige IV, I- na IV-V, semiconductors refractory, na ụdị oxides dị iche iche, dị ka iji polycrystalline Si na CH./Ar ngwakọta nke gas na-agbapụ ọdịda nke SiC mkpa fim, Ti lekwasịrị anya na N / Ar iji kwadebe TiN siri ike fim, Ta na O / Ar iji kwadebe TaO; dielectric mkpa fim, Fe na O, / Ar iji kwadebe -FezO; -Fezo. ihe nkiri na-edekọ ihe nkiri, ihe nkiri piezoelectric AIN na A1 na N / Ar, A1-CO ihe nkiri absorption nhọrọ na AI na CO / Ar, na YBaCuO-superconducting fim na Y-Ba-Cu na O / Ar, n'etiti ndị ọzọ.

–E wepụtara akụkọ aonye na-emepụta igwe mkpuchi ikukuGuangdong Zhenhua