Pelapisan sumber penguapan resistansi merupakan metode pelapisan penguapan vakum dasar. "Penguapan" mengacu pada metode penyiapan lapisan tipis di mana bahan pelapis dalam ruang vakum dipanaskan dan diuapkan, sehingga atom atau molekul bahan menguap dan keluar dari permukaan, membentuk fenomena aliran uap, mengenai permukaan substrat atau substrat, dan akhirnya terkondensasi untuk membentuk lapisan padat.
Metode pelapisan sumber penguapan resistansi yang disebut adalah menggunakan tantalum, molibdenum, tungsten, dan logam bertitik leleh tinggi lainnya untuk membuat bentuk sumber penguapan yang sesuai, yang diisi dengan bahan yang akan diuapkan, membiarkan udara mengalir masuk, langsung memanaskan dan menguapkan bahan yang diuapkan, atau meletakkan bahan yang akan diuapkan ke dalam alumina, berilium oksida, dan wadah peleburan lainnya untuk pemanasan dan penguapan tidak langsung. Ini adalah metode penguapan pemanasan resistansi.
Itumesin pelapis penguapan vakumdipanaskan dan diuapkan oleh pemanas resistansi memiliki keuntungan berupa struktur sederhana, biaya rendah, dan penggunaan yang andal. Dapat digunakan untuk pelapisan penguapan bahan dengan titik leleh rendah, terutama untuk produksi massal dengan persyaratan kualitas pelapisan yang rendah. Sejauh ini, masih banyak proses pelapisan pemanasan resistansi dan penguapan yang digunakan dalam produksi cermin aluminized.
Kerugian dari metode pelapisan penguapan sumber penguapan resistansi adalah suhu maksimum yang dapat dicapai dengan pemanasan terbatas, dan masa pakai pemanas juga pendek. Dalam beberapa tahun terakhir, untuk meningkatkan masa pakai sumber penguapan resistansi, pabrik peralatan telah mengadopsi bahan keramik konduktif yang disintesis oleh boron nitrida dengan masa pakai yang panjang sebagai sumber penguapan. Menurut laporan paten Jepang, dapat menggunakan bahan yang terdiri dari 20%~30% boron nitrida dan bahan tahan api yang dapat menyatu dengannya untuk membuat sumber penguapan (wadah), dan melapisi permukaannya dengan lapisan zirkonium yang mengandung 62%~82%, dan sisanya adalah bahan paduan zirkonium-silikon.
Waktu posting: 22-Apr-2023