busur ion katoda vakumcoating disingkat menjadi busur vakumcoJika dua atau lebih sumber penguapan busur vakum (disebut sumber busur) digunakan, maka disebut sumber penguapan busur ion multi.coating atau multi busurcoIni adalah teknologi pelapisan ion vakum yang menggunakan pelepasan busur vakum untuk sumber penguapan. Tidak seperti busur elektron panas dari pelepasan katode berongga, bentuk busurnya adalah pembentukan bintik-bintik busur katode pada permukaan katode dingin.
Karakteristik busur ion katoda vakumcomakan adalah:
(1) Sumber penguapan adalah target katode padat, yang secara langsung menghasilkan plasma dari sumber target katode tanpa memerlukan kolam cair. Sumber target busur dapat diatur ke segala arah dan beberapa sumber untuk memastikan pelapisan yang seragam.
(2) Struktur peralatan relatif sederhana, tanpa memerlukan gas kerja atau metode ionisasi tambahan. Sumber target busur tidak hanya merupakan sumber penguapan untuk material katoda, tetapi juga merupakan sumber ion; Selama pengendapan reaktif, hanya ada gas reaktif, dan atmosfer dikontrol menggunakan kontrol tekanan penuh yang sederhana.
(3) Laju ionisasi tinggi, umumnya mencapai 60%~80%, dan laju deposisi tinggi.
(4) Energi ion insiden tinggi, dan gaya ikatan film/substrat dari film yang diendapkan baik.
(5) Menggunakan catu daya tegangan rendah untuk pengoperasian yang aman.
(6) Dapat mengendapkan lapisan logam, lapisan paduan, bereaksi dan mensintesis berbagai lapisan senyawa (senyawa amonia, karbida, oksida), dan bahkan mensintesis lapisan DLC, lapisan CN, dll. Kerugiannya adalah selama pengendapan, tetesan kecil cairan terciprat dari permukaan target, yang mengembun di lapisan film yang dilapisi dan meningkatkan kekasaran lapisan film. Saat ini, banyak metode efektif telah dipelajari untuk mengurangi dan menghilangkan tetesan mikro ini.
busur ion vakumcoTeknologi pelapisan telah banyak digunakan untuk melapisi lapisan pelindung superkeras untuk peralatan dan cetakan. Sistem film meliputi TiN, ZrN, HfN, TiAIN, TiC, TiNC, CrN, Al2O3, DLC, dll. Produk pelapis meliputi peralatan, cetakan, dll. Dalam hal pelapis pelindung dekoratif warna dan emas imitasi, sistem film meliputi TiN, ZrN, TiAIN, TiAINC, TC, TiNC, DLC, Ti-ON, TONC, ZrCN, Zr-ON, dll. Sistem film warna meliputi hitam pekat, hitam, ungu, coklat, biru, hijau, abu-abu, dll.
Ion busur gandacoPelapisan memiliki berbagai macam aplikasi dan kepraktisan yang kuat, terutama dalam melapisi lapisan film keras yang dekoratif dan tahan aus pada permukaan material seperti alat pemotong, cetakan, dan pelat baja tahan karat.
Waktu posting: 17-Agu-2023