Գոլորշիացման դիմադրության աղբյուրի ծածկույթը վակուումային գոլորշիացման ծածկույթի հիմնական մեթոդ է: «Գոլորշիացումը» վերաբերում է բարակ թաղանթի պատրաստման մեթոդին, որի դեպքում վակուումային խցիկում գտնվող ծածկույթի նյութը տաքացվում և գոլորշիանում է, այնպես որ նյութի ատոմները կամ մոլեկուլները գոլորշիանում են և դուրս են գալիս մակերեսից՝ առաջացնելով գոլորշու հոսքի երևույթ, ընկնում հիմքի կամ հիմքի մակերեսին և վերջապես խտանում՝ առաջացնելով պինդ թաղանթ:
Այսպես կոչված դիմադրության գոլորշիացման աղբյուրի ծածկույթի մեթոդը տանտալի, մոլիբդենի, վոլֆրամի և այլ բարձր հալման կետ ունեցող մետաղների օգտագործումն է՝ գոլորշիացման աղբյուրի համապատասխան ձև ստանալու համար, որը լցված է գոլորշիացման ենթակա նյութերով, թողնում է օդը հոսի միջով, ուղղակիորեն տաքացնում և գոլորշիացնում է գոլորշիացված նյութերը, կամ գոլորշիացման ենթակա նյութերը տեղադրում է ալյումինի, բերիլիումի օքսիդի և այլ հալոցքային անոթների մեջ՝ անուղղակի տաքացման և գոլորշիացման համար: Սա դիմադրության տաքացման գոլորշիացման մեթոդ է:
Theվակուումային գոլորշիացման ծածկույթների մեքենաԴիմադրության տաքացուցիչով տաքացնելը և գոլորշիացնելը ունի պարզ կառուցվածքի, ցածր գնի և հուսալի օգտագործման առավելություններ։ Այն կարող է օգտագործվել ցածր հալման կետ ունեցող նյութերի գոլորշիացման ծածկույթի համար, հատկապես ծածկույթի որակի նկատմամբ ցածր պահանջներով զանգվածային արտադրության համար։ Մինչ օրս ալյումինապատ հայելիների արտադրության մեջ դեռևս կիրառվում են դիմադրության տաքացման և գոլորշիացման ծածկույթի մեծ թվով գործընթացներ։
Դիմադրության գոլորշիացման աղբյուրի գոլորշիացման ծածկույթի մեթոդի թերություններն այն են, որ տաքացման միջոցով հնարավոր առավելագույն ջերմաստիճանը սահմանափակ է, և ջեռուցիչի ծառայության ժամկետը նույնպես կարճ է: Վերջին տարիներին, դիմադրության գոլորշիացման աղբյուրի կյանքը բարելավելու համար, սարքավորումների գործարանը որպես գոլորշիացման աղբյուր ընդունել է բորի նիտրիդով սինթեզված երկարակյաց հաղորդիչ կերամիկական նյութ: Ճապոնական արտոնագրային զեկույցի համաձայն, այն կարող է օգտագործել 20%~30% բորի նիտրիդից կազմված նյութեր և դրա հետ միաձուլվող հրակայուն նյութեր՝ գոլորշիացման աղբյուր (խորշու մեջ), և դրա մակերեսը պատել 62%~82% պարունակող ցիրկոնիումի շերտով, իսկ մնացածը ցիրկոնիում-սիլիցիում համաձուլվածքային նյութեր են:
Հրապարակման ժամանակը. Ապրիլի 22-2023