Վակուումային կաթոդային աղեղային իոնային ծածկույթի ակնարկ

Վակուումային կաթոդային աղեղային իոնcoԱտինգը կրճատվում է որպես վակուումային աղեղcoատինգ։ Եթե օգտագործվում են երկու կամ ավելի վակուումային աղեղային գոլորշիացման աղբյուրներ (որոնք կոչվում են աղեղային աղբյուրներ), դա կոչվում է բազմաաղեղային իոնայինcoատինգային կամ բազմաաղեղայինcoԱտինգ։ Սա վակուումային իոնային ծածկույթի տեխնոլոգիա է, որն օգտագործում է վակուումային աղեղային պարպում գոլորշիացման աղբյուրների համար։ Ի տարբերություն խոռոչ կաթոդային պարպման տաք էլեկտրոնային աղեղի, դրա աղեղային ձևը սառը կաթոդի մակերեսին կաթոդային աղեղային բծերի առաջացումն է։

Վակուումային կաթոդային աղեղային իոնային կառուցվածքի բնութագրերըcoատինգը հետևյալն է.

(1) Գոլորշիացման աղբյուրը պինդ կաթոդային թիրախ է, որն անմիջապես կաթոդային թիրախի աղբյուրից պլազմա է առաջացնում՝ առանց հալված նյութի անհրաժեշտության: Աղեղային թիրախի աղբյուրը կարող է դասավորվել ցանկացած ուղղությամբ և բազմաթիվ աղբյուրներով՝ միատարր ծածկույթ ապահովելու համար:

(2) Սարքավորման կառուցվածքը համեմատաբար պարզ է, առանց աշխատանքային գազի կամ օժանդակ իոնացման մեթոդների անհրաժեշտության: Աղեղային թիրախի աղբյուրը ոչ միայն կաթոդային նյութի գոլորշիացման աղբյուր է, այլև իոնային աղբյուր. Ռեակտիվ նստեցման ժամանակ գոյություն ունի միայն ռեակտիվ գազ, և մթնոլորտը կառավարվում է պարզ լրիվ ճնշման կառավարման միջոցով:

(3) Իոնացման արագությունը բարձր է, ընդհանուր առմամբ հասնում է 60%~80%-ի, և նստեցման արագությունը բարձր է։

(4) Միջադեպային իոնի էներգիան բարձր է, և նստեցված թաղանթի թաղանթ/ենթաշերտ կապի ուժը՝ լավ։

(5) Անվտանգ շահագործման համար ցածր լարման էլեկտրամատակարարման օգտագործումը։

(6) Այն կարող է նստեցնել մետաղական թաղանթներ, համաձուլվածքային թաղանթներ, ռեակցիայի մեջ մտնել և սինթեզել տարբեր միացություններ (ամոնիակի միացություններ, կարբիդներ, օքսիդներ) և նույնիսկ սինթեզել DLC թաղանթներ, CN թաղանթներ և այլն: Դրա թերությունն այն է, որ նստեցման ընթացքում թիրախային մակերեսից հեղուկի փոքրիկ կաթիլներ են ցայտում, որոնք խտանում են պատված թաղանթի շերտում և մեծացնում թաղանթի շերտի կոպտությունը: Ներկայումս ուսումնասիրվել են բազմաթիվ արդյունավետ մեթոդներ այդ միկրոկաթիլները նվազեցնելու և վերացնելու համար:

Վակուումային աղեղային իոնcoԾածկույթի տեխնոլոգիան լայնորեն կիրառվում է գործիքների և կաղապարների գերկարծր պաշտպանիչ ծածկույթները պատելու համար: Թաղանթային համակարգերը ներառում են TiN, ZrN, HfN, TiAIN, TiC, TiNC, CrN, Al2O3, DLC և այլն: Ծածկույթային արտադրանքը ներառում է գործիքներ, կաղապարներ և այլն: Ինչ վերաբերում է իմիտացիոն ոսկու և գունավոր դեկորատիվ պաշտպանիչ ծածկույթներին, թաղանթային համակարգերը ներառում են TiN, ZrN, TiAIN, TiAINC, TC, TiNC, DLC, Ti-ON, TONC, ZrCN, Zr-ON և այլն: Գունավոր թաղանթային համակարգերը ներառում են ատրճանակային սև, սև, մանուշակագույն, շագանակագույն, կապույտ, կանաչ-մոխրագույն և այլն:

Բազմաաղեղային իոնcoԱտինգը ունի կիրառման լայն շրջանակ և ուժեղ գործնականություն, մասնավորապես՝ դեկորատիվ և մաշվածությանը դիմացկուն կարծր թաղանթային շերտեր ծածկելու համար այնպիսի նյութերի մակերեսների վրա, ինչպիսիք են կտրող գործիքները, կաղապարները և չժանգոտվող պողպատե թիթեղները։