Az ellenállásos párolgásforrás-bevonatolás egy alapvető vákuumpárolgásos bevonási módszer. A „párolgás” egy vékonyréteg-előállítási módszer, amelyben a bevonóanyagot a vákuumkamrában melegítik és párologtatják, így az anyag atomjai vagy molekulái elpárolognak és elhagyják a felületet, gőzáramlási jelenséget hozva létre, az aljzat vagy aljzat felületére esnek, és végül kondenzálódnak, hogy szilárd filmet képezzenek.
Az úgynevezett ellenállásos párologtatásos forrásbevonási módszer lényege, hogy tantált, molibdént, volfrámot és más magas olvadáspontú fémeket használnak fel megfelelő alakú párologtatási forrás előállítására, amelyet bepárolandó anyagokkal töltenek meg, levegőt áramoltatnak át rajta, közvetlenül melegítik és elpárologtatják a bepárolgott anyagokat, vagy a bepárolandó anyagokat alumínium-oxidba, berillium-oxidba vagy más olvasztótégelyekbe helyezik közvetett melegítés és elpárologtatás céljából. Ez az ellenállásos melegítésű párologtatási módszer.
Avákuumos párologtató bevonógépAz ellenállásfűtéssel történő melegítés és elpárologtatás előnyei az egyszerű szerkezet, az alacsony költség és a megbízható használat. Alacsony olvadáspontú anyagok párologtatásos bevonására használható, különösen tömeggyártás esetén, ahol alacsonyak a bevonatminőségi követelmények. A mai napig számos ellenállásfűtéses és elpárologtatásos bevonási eljárást alkalmaznak alumíniummal bevont tükrök gyártásában.
Az ellenállás-párologtató forrás párologtatásos bevonási módszerének hátrányai közé tartozik, hogy a melegítéssel elérhető maximális hőmérséklet korlátozott, és a fűtőberendezés élettartama is rövid. Az elmúlt években az ellenállás-párologtató forrás élettartamának javítása érdekében a berendezésgyártók a bór-nitriddel szintetizált, hosszú élettartamú vezetőképes kerámia anyagot alkalmazták párologtató forrásként. Egy japán szabadalmi jelentés szerint 20%~30% bór-nitridből és azzal összeolvasztható tűzálló anyagokból álló anyagokat használhatnak a párologtató forrás (tégely) előállításához, és felületét 62%~82% cirkóniumtartalmú réteggel vonják be, a többit pedig cirkónium-szilícium ötvözet anyag alkotja.
Közzététel ideje: 2023. április 22.