A porlasztásos bevonási eljárás során a vegyületek célpontként használhatók kémiailag szintetizált filmek előállításához. A célanyag porlasztása után keletkező film összetétele azonban gyakran nagymértékben eltér a célanyag eredeti összetételétől, és ezért nem felel meg az eredeti terv követelményeinek. Tiszta fém célanyag használata esetén a szükséges aktív gázt (pl. oxigént oxidfilmek előállításakor) tudatosan keverik a munkagázba (kisülési gázba), így az kémiailag reagál a célanyaggal, és egy vékony filmet hoz létre, amelynek összetétele és jellemzői szabályozhatók. Ezt a módszert gyakran „reakciós porlasztásnak” nevezik.
Amint azt korábban említettük, az RF porlasztás alkalmazható dielektromos filmek és különféle összetett filmek leválasztására. Azonban egy „tiszta” film előállításához „tiszta” céltárgyra, nagy tisztaságú oxidra, nitridre, karbidra vagy más összetett porra van szükség. Ezen porok bizonyos alakú céltárgyvá történő feldolgozása a formázáshoz vagy szinterezéshez szükséges adalékanyagok hozzáadását igényli, ami a céltárgy és a kapott film tisztaságának jelentős csökkenését eredményezi. A reaktív porlasztás során azonban, mivel nagy tisztaságú fémek és nagy tisztaságú gázok használhatók, kényelmes feltételeket biztosítanak a nagy tisztaságú filmek előállításához. A reaktív porlasztás az utóbbi években egyre nagyobb figyelmet kapott, és a különféle funkcionális vegyületek vékonyrétegeinek kicsapásának fő módszerévé vált. Széles körben alkalmazzák IV, I és IV-V vegyületek, tűzálló félvezetők és különféle oxidok gyártásában, például polikristályos Si és CH₃₁/Ar gázkeverék használatával SiC vékonyrétegek kicsapódásához, Ti célanyaggal és N₂/Ar-ral TiN keményrétegek előállításához, Ta és O/Ar-ral TaO₂ előállításához; dielektromos vékonyrétegekkel, Fe és O₂/Ar-ral -FezO₂ előállításához; -FezO₂ rögzítő filmekhez, AIN piezoelektromos filmekhez A1-gyel és N₂/Ar-ral, A1-CO szelektív abszorpciós filmekhez Al-lal és CO/Ar-ral, valamint YBaCuO₄-szupravezető filmekhez Y-Ba-Cu és O/Ar-ral, többek között.
– Ezt a cikket a következő tette közzé:vákuumbevonó gép gyártóGuangdong Zhenhua
Közzététel ideje: 2024. január 18.