Vákuum katódos ívioncoAz ating rövidítése vákuumívcoáció. Ha két vagy több vákuumíves párologtató forrást (ívforrásoknak nevezzük) használnak, azt többíves ionizációnak nevezik.covagy több ívűcoating. Ez egy vákuumionos bevonatolási technológia, amely vákuumos ívkisülést használ párologtatási forrásokhoz. Az üreges katódos kisülés forró elektronívjével ellentétben az ívforma a katód ívfoltjainak kialakulása a hideg katód felületén.
A vákuumkatódos ívion jellemzőicoaz alábbiak:
(1) A párologtatási forrás egy szilárd katódcélpont, amely közvetlenül a katódcélpontból generál plazmát olvadékfürdő használata nélkül. Az ívcélpont bármilyen irányban elrendezhető, és több forrásból is származhat az egyenletes bevonat biztosítása érdekében.
(2) A berendezés felépítése viszonylag egyszerű, nincs szükség munkagázra vagy kiegészítő ionizációs módszerekre. Az ív célforrása nemcsak a katódanyag elpárologtatására szolgál, hanem ionforrás is; Reaktív leválasztás során csak reaktív gáz létezik, és a légkört egyszerű teljes nyomásszabályozással szabályozzák.
(3) Az ionizációs sebesség magas, általában eléri a 60% ~ 80%-ot, és a lerakódási sebesség magas.
(4) A beeső ionenergia magas, és a lerakódott film film/hordozó kötőereje jó.
(5) Alacsony feszültségű tápegység használata a biztonságos működés érdekében.
(6) Fémfilmek, ötvözetfilmek leválasztására, különféle összetett filmek (ammóniavosztályok, karbidok, oxidok) reakcióba lépésére és szintetizálására, sőt DLC-filmek, CN-filmek stb. szintetizálására is alkalmas. Hátránya, hogy a leválasztás során apró folyadékcseppek fröccsennek le a célfelületről, amelyek a bevont filmrétegben lecsapódnak és növelik a filmréteg érdességét. Jelenleg számos hatékony módszert tanulmányoztak ezen mikrocseppek csökkentésére és kiküszöbölésére.
Vákuumív ioncoAz abrazív technológiát széles körben alkalmazzák szerszámok és formák szuperkemény védőbevonatainak felvitelére. A filmrendszerek közé tartozik a TiN, ZrN, HfN, TiAIN, TiC, TiNC, CrN, Al2O3, DLC stb. A bevonattermékek közé tartoznak a szerszámok, formák stb. Az aranyutánzatú és színes dekoratív védőbevonatok tekintetében a filmrendszerek közé tartozik a TiN, ZrN, TiAIN, TiAINC, TC, TiNC, DLC, Ti-ON, TONC, ZrCN, Zr-ON stb. A színes filmrendszerek közé tartozik a pisztolyfekete, fekete, lila, barna, kék, zöld, szürke stb.
Több íves ioncoAz ating széles körben alkalmazható és praktikus, különösen dekoratív és kopásálló kemény filmrétegek bevonására olyan anyagok felületén, mint a vágószerszámok, formák és rozsdamentes acéllemezek.
Közzététel ideje: 2023. augusztus 17.