Kouch sous evaporasyon rezistans se yon metòd kouch evaporasyon vakyòm debaz. "Evaporasyon" refere a yon metòd preparasyon fim mens kote materyèl kouch la nan chanm vakyòm lan chofe epi evapore, pou atòm oswa molekil materyèl yo vaporize epi chape soti nan sifas la, fòme yon fenomèn koule vapè, ensidan sou sifas substra a oswa substra a, epi finalman kondanse pou fòme yon fim solid.
Metòd kouch sous evaporasyon rezistans lan se sèvi ak tantal, molibdèn, tengstèn ak lòt metal ki gen yon pwen fizyon wo pou fè yon sous evaporasyon ki gen yon fòm apwopriye. Yo chaje materyèl pou evapore, kite lè a koule, chofe epi evapore materyèl evapore yo dirèkteman, oubyen mete materyèl pou evapore yo nan aliminyòm, oksid berilyòm ak lòt kribib pou chofaj ak evaporasyon endirèk. Sa a se metòd evaporasyon chofaj rezistans lan.
Lamachin kouch evaporasyon vakyòmChofaj ak evaporasyon pa aparèy chofaj rezistans gen avantaj estrikti senp, pri ki ba ak itilizasyon serye. Li ka itilize pou kouch evaporasyon materyèl ki gen pwen fizyon ki ba, espesyalman pou pwodiksyon an mas ki pa gen anpil egzijans pou bon jan kalite kouch. Jiskaprezan, toujou gen yon gwo kantite pwosesis kouch chofaj rezistans ak evaporasyon ki an itilizasyon nan pwodiksyon miwa aliminyòm.
Dezavantaj metòd kouch evaporasyon sous evaporasyon rezistans lan se tanperati maksimòm ki ka atenn pa chofaj la limite, epi lavi sèvis aparèy chofaj la kout tou. Nan dènye ane yo, pou amelyore lavi sous evaporasyon rezistans lan, faktori ekipman yo te adopte materyèl seramik kondiktif sentetize pa nitrid bor ak yon lavi ki long kòm sous evaporasyon an. Selon yon rapò patant Japonè, li ka itilize materyèl ki konpoze de 20% ~ 30% nitrid bor ak materyèl refraktè ki ka fizyone avèk li pou fè sous evaporasyon an (krezo), epi kouvri sifas li ak yon kouch zirkonyòm ki gen 62% ~ 82%, epi rès la se materyèl alyaj zirkonyòm-silikon.
Dat piblikasyon: 22 avril 2023