Nan pwosesis kouch pulverizasyon an, konpoze yo ka itilize kòm sib pou preparasyon fim sentetize chimikman. Sepandan, konpozisyon fim ki pwodui apre pulverizasyon materyèl sib la souvan diferan anpil de konpozisyon orijinal materyèl sib la, e pakonsekan li pa satisfè egzijans konsepsyon orijinal la. Si yo itilize yon sib metal pi, gaz aktif ki nesesè a (pa egzanp, oksijèn lè w ap prepare fim oksid) melanje konsyaman nan gaz k ap travay la (egzeyat), pou li reyaji chimikman ak materyèl sib la pou pwodui yon fim mens ke yo ka kontwole an tèm de konpozisyon ak karakteristik li yo. Metòd sa a souvan refere yo kòm "pulverizasyon reyaksyon".
Jan nou te mansyone pi bonè, yo ka itilize pulverizasyon RF pou depoze fim dyelèktrik ak divès kalite fim konpoze. Sepandan, pou prepare yon fim "pi", li nesesè pou gen yon sib "pi", yon oksid, nitrid, kabid, oswa lòt poud konpoze ki gen yon gwo pite. Pou trete poud sa yo an yon sib ki gen yon sèten fòm, yo bezwen ajoute aditif ki nesesè pou bòdi oswa sinterizasyon, sa ki lakòz yon rediksyon enpòtan nan pite sib la ak fim ki soti a. Sepandan, nan pulverizasyon reyaktif, piske yo ka itilize metal ak gaz ki gen gwo pite, yo bay kondisyon pratik pou preparasyon fim ki gen gwo pite. Pulverizasyon reyaktif te resevwa plis atansyon nan dènye ane yo e li te vin tounen yon metòd prensipal pou presipite fim mens ki gen divès konpoze fonksyonèl. Li te lajman itilize nan fabrikasyon konpoze IV, I- ak IV-V, semi-kondiktè refraktè, ak yon varyete oksid, tankou itilizasyon melanj gaz polikristalin Si ak CH₄/Ar pou presipite fim mens SiC, sib Ti ak N/Ar pou prepare fim di TiN, Ta ak O/Ar pou prepare TaO₂; fim mens dyelektrik, Fe ak O₂/Ar pou prepare -FezO₂; fim anrejistreman -FezO₂, fim pyezoelektrik AIN ak A1 ak N/Ar, fim absòpsyon selektif A1-CO ak AI ak CO/Ar, ak fim sipèkondiktè YBaCuO ak Y-Ba-Cu ak O/Ar, pami lòt.
–Atik sa a pibliye pamanifakti machin kouch vakyòmGuangdong Zhenhua
Dat piblikasyon: 18 janvye 2024