Premaz otpornim isparavanjem osnovna je metoda vakuumskog isparavanja. „Isparavanje“ se odnosi na metodu pripreme tankog filma u kojoj se materijal premaza u vakuumskoj komori zagrijava i isparava, tako da atomi ili molekule materijala isparavaju i izlaze s površine, stvarajući fenomen protoka pare, padajući na površinu podloge ili supstrata te se konačno kondenzira u čvrsti film.
Takozvana metoda premazivanja izvorom otpornog isparavanja je korištenje tantala, molibdena, volframa i drugih metala s visokim talištem za izradu odgovarajućeg oblika izvora isparavanja, koji se napuni materijalima koji se isparavaju, pusti da kroz njega struji zrak, izravno zagrije i ispari isparene materijale ili se materijali koji se isparavaju stavljaju u aluminijev oksid, berilijev oksid i druge lončiće za neizravno zagrijavanje i isparavanje. To je metoda isparavanja otpornim zagrijavanjem.
Thestroj za vakuumsko isparavanje premazaZagrijavanje i isparavanje otpornim grijačem ima prednosti jednostavne strukture, niske cijene i pouzdane upotrebe. Može se koristiti za isparavanje materijala s niskom točkom taljenja, posebno za masovnu proizvodnju s niskim zahtjevima za kvalitetom premaza. Do sada postoji veliki broj postupaka premazivanja otpornim zagrijavanjem i isparavanjem koji se koriste u proizvodnji aluminiziranih zrcala.
Nedostaci metode premazivanja isparavanjem izvora otpora su ograničena maksimalna temperatura koja se može postići zagrijavanjem, a i kratak vijek trajanja grijača. Posljednjih godina, kako bi se poboljšao vijek trajanja izvora otpora, tvornica opreme usvojila je vodljivi keramički materijal sintetiziran borovim nitridom s dugim vijekom trajanja kao izvor isparavanja. Prema japanskom patentnom izvješću, mogu se koristiti materijali sastavljeni od 20%~30% borovog nitrida i vatrostalnih materijala koji se mogu s njim spojiti kako bi se napravio izvor isparavanja (lončić), te se njegova površina prekriva slojem cirkonija koji sadrži 62%~82%, a ostatak su legure cirkonija i silicija.
Vrijeme objave: 22. travnja 2023.