Vakuumska katoda s lukom ionacoating se skraćeno naziva vakuumski lukcoAko se koriste dva ili više izvora vakuumskog luka (nazivaju se izvori luka), to se naziva višestrukim lukom.coiranje ili višestruki lukcoTo je tehnologija vakuumskog ionskog premazivanja koja koristi vakuumski luk za izvore isparavanja. Za razliku od vrućeg elektronskog luka šupljeg katodnog pražnjenja, njegov oblik luka je stvaranje katodnih lukovnih mrlja na površini hladne katode.
Karakteristike vakuumske katodne lučne ionecojedući su:
(1) Izvor isparavanja je čvrsta katodna meta, koja izravno generira plazmu iz izvora katodne mete bez potrebe za rastaljenom lokvicom. Izvor lučne mete može se postaviti u bilo kojem smjeru i s više izvora kako bi se osiguralo ravnomjerno prekrivanje.
(2) Struktura opreme je relativno jednostavna, bez potrebe za radnim plinom ili pomoćnim metodama ionizacije. Izvor mete za luk nije samo izvor isparavanja katodnog materijala, već i izvor iona; Tijekom reaktivnog taloženja postoji samo reaktivni plin, a atmosfera se kontrolira jednostavnom kontrolom punog tlaka.
(3) Stopa ionizacije je visoka, obično doseže 60%~80%, a stopa taloženja je visoka.
(4) Energija upadnih iona je visoka, a sila vezivanja filma i podloge nanesenog filma je dobra.
(5) Korištenje niskonaponskog napajanja za siguran rad.
(6) Može taložiti metalne filmove, legirane filmove, reagirati i sintetizirati razne složene filmove (amonijeve spojeve, karbide, okside), pa čak i sintetizirati DLC filmove, CN filmove itd. Njegov nedostatak je što se tijekom taloženja s ciljane površine prskaju sitne kapljice tekućine koje se kondenziraju u premazanom sloju filma i povećavaju hrapavost sloja filma. Trenutno je proučeno mnogo učinkovitih metoda za smanjenje i uklanjanje ovih mikro kapljica.
Vakuumski luk ionacoTehnologija premazivanja široko se koristi za nanošenje supertvrdih zaštitnih premaza za alate i kalupe. Filmski sustavi uključuju TiN, ZrN, HfN, TiAIN, TiC, TiNC, CrN, Al2O3, DLC itd. Proizvodi za premazivanje uključuju alate, kalupe itd. Što se tiče imitacije zlata i dekorativnih zaštitnih premaza u boji, filmski sustavi uključuju TiN, ZrN, TiAIN, TiAINC, TC, TiNC, DLC, Ti-ON, TONC, ZrCN, Zr-ON itd. Sustavi filmskih boja uključuju crnu, crnu, ljubičastu, smeđu, plavu, zeleno-sivu itd.
Višestruki luk ioncoPremazivanje ima širok raspon primjena i veliku praktičnost, posebno u nanošenju dekorativnih i otpornih na habanje tvrdih filmskih slojeva na površinama materijala kao što su alati za rezanje, kalupi i ploče od nehrđajućeg čelika.
Vrijeme objave: 17. kolovoza 2023.