Reactive Sputtering Txheej Cov yam ntxwv thiab kev siv

Nyob rau hauv cov txheej txheem sputtering txheej, cov tebchaw tuaj yeem siv los ua lub hom phiaj rau kev npaj cov tshuaj lom neeg cov yeeb yaj kiab. Txawm li cas los xij, muaj pes tsawg leeg ntawm zaj duab xis tsim tom qab sputtering ntawm lub hom phiaj cov ntaub ntawv feem ntau deviates heev los ntawm tus thawj muaj pes tsawg leeg ntawm lub hom phiaj cov khoom, thiab yog li ntawd tsis tau raws li qhov yuav tsum tau ntawm tus thawj tsim. Yog tias siv lub hom phiaj hlau ntshiab, cov roj uas yuav tsum tau muaj (piv txwv li, oxygen thaum npaj cov yeeb yaj kiab oxide) yog sib xyaw ua ke rau hauv cov pa ua haujlwm (tso tawm) roj, kom nws cov tshuaj lom neeg nrog cov khoom siv los tsim cov yeeb yaj kiab nyias uas tuaj yeem tswj tau raws li nws cov muaj pes tsawg leeg thiab cov yam ntxwv. Txoj kev no feem ntau hu ua "reaction sputtering".

Raws li tau hais ua ntej, RF sputtering tuaj yeem siv los tso cov yeeb yaj kiab dielectric thiab ntau cov yeeb yaj kiab sib xyaw. Txawm li cas los xij, txhawm rau npaj "ntshiab" zaj duab xis, nws yog ib qho tsim nyog yuav tsum muaj lub hom phiaj "ntshiab", lub siab purity oxide, nitride, carbide, los yog lwm yam hmoov sib xyaw. Kev ua cov hmoov no rau hauv lub hom phiaj ntawm ib qho duab yuav tsum tau ntxiv cov additives tsim nyog rau molding los yog sintering, uas ua rau ib tug tseem ceeb txo nyob rau hauv lub purity ntawm lub hom phiaj thiab cov resulting zaj duab xis. Hauv reactive sputtering, txawm li cas los xij, txij li cov hlau purity siab thiab cov roj purity siab tuaj yeem siv tau, cov xwm txheej yooj yim tau muab rau kev npaj cov yeeb yaj kiab siab. Reactive sputtering tau txais kev mloog ntau ntxiv nyob rau xyoo tas los no thiab tau dhau los ua txoj hauv kev tseem ceeb rau precipitating nyias zaj duab xis ntawm ntau lub tebchaw ua haujlwm. Nws tau siv dav hauv kev tsim cov IV, I- thiab IV-V compounds, refractory semiconductors, thiab ntau yam oxides, xws li kev siv cov polycrystalline Si thiab CH./Ar sib tov ntawm gases los tua cov nag lossis daus ntawm SiC nyias zaj duab xis, Ti phiaj thiab N / Ar los npaj TiN hard films, Ta thiab O / Ar los npaj TaO; dielectric nyias zaj duab xis, Fe thiab O, / Ar los npaj -FezO; - FezO. kaw cov yeeb yaj kiab, AIN piezoelectric films nrog A1 thiab N / Ar, A1-CO xaiv cov yeeb yaj kiab nrog AI thiab CO / Ar, thiab YBaCuO-superconducting films nrog Y-Ba-Cu thiab O / Ar, thiab lwm yam.

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