रिएक्टिव स्पटरिंग कोटिंग विशेषताएँ और अनुप्रयोग

स्पटरिंग कोटिंग प्रक्रिया में, यौगिकों का उपयोग रासायनिक रूप से संश्लेषित फिल्मों की तैयारी के लिए लक्ष्य के रूप में किया जा सकता है। हालांकि, लक्ष्य सामग्री के स्पटरिंग के बाद उत्पन्न फिल्म की संरचना अक्सर लक्ष्य सामग्री की मूल संरचना से बहुत अलग हो जाती है, और इसलिए मूल डिजाइन की आवश्यकताओं को पूरा नहीं करती है। यदि शुद्ध धातु लक्ष्य का उपयोग किया जाता है, तो आवश्यक सक्रिय गैस (जैसे, ऑक्साइड फिल्मों की तैयारी करते समय ऑक्सीजन) को जानबूझकर कार्यशील (डिस्चार्ज) गैस में मिलाया जाता है, ताकि यह लक्ष्य सामग्री के साथ रासायनिक रूप से प्रतिक्रिया करके एक पतली फिल्म का निर्माण करे जिसे इसकी संरचना और विशेषताओं के संदर्भ में नियंत्रित किया जा सके। इस विधि को अक्सर "प्रतिक्रिया स्पटरिंग" के रूप में जाना जाता है।

जैसा कि पहले बताया गया है, आरएफ स्पटरिंग का उपयोग डाइइलेक्ट्रिक फिल्मों और विभिन्न यौगिक फिल्मों को जमा करने के लिए किया जा सकता है। हालांकि, एक "शुद्ध" फिल्म तैयार करने के लिए, एक "शुद्ध" लक्ष्य, एक उच्च शुद्धता वाला ऑक्साइड, नाइट्राइड, कार्बाइड या अन्य यौगिक पाउडर होना आवश्यक है। इन पाउडर को एक निश्चित आकार के लक्ष्य में संसाधित करने के लिए मोल्डिंग या सिंटरिंग के लिए आवश्यक योजकों को जोड़ने की आवश्यकता होती है, जिसके परिणामस्वरूप लक्ष्य और परिणामी फिल्म की शुद्धता में महत्वपूर्ण कमी आती है। हालांकि, रिएक्टिव स्पटरिंग में, चूंकि उच्च शुद्धता वाली धातुएं और उच्च शुद्धता वाली गैसें इस्तेमाल की जा सकती हैं, इसलिए उच्च शुद्धता वाली फिल्मों की तैयारी के लिए सुविधाजनक स्थितियां प्रदान की जाती हैं। रिएक्टिव स्पटरिंग ने हाल के वर्षों में अधिक ध्यान आकर्षित किया है और यह विभिन्न कार्यात्मक यौगिकों की पतली फिल्मों को अवक्षेपित करने की एक प्रमुख विधि बन गई है। इसका व्यापक रूप से IV, I- और IV-V यौगिकों, दुर्दम्य अर्धचालकों और विभिन्न प्रकार के ऑक्साइडों के निर्माण में उपयोग किया गया है, जैसे कि SiC पतली फिल्मों के अवक्षेपण के लिए पॉलीक्रिस्टलाइन Si और CH./Ar गैसों के मिश्रण का उपयोग, TiN कठोर फिल्में तैयार करने के लिए Ti लक्ष्य और N/Ar, TaO तैयार करने के लिए Ta और O/Ar; परावैद्युत पतली फिल्में, Fe और O,/Ar -FezO तैयार करने के लिए; -FezO. रिकॉर्डिंग फिल्में, A1 और N/Ar के साथ AIN पीजोइलेक्ट्रिक फिल्में, AI और CO/Ar के साथ A1-CO चयनात्मक अवशोषण फिल्में, और Y-Ba-Cu और O/Ar के साथ YBaCuO-अतिचालक फिल्में, आदि।

-यह लेख द्वारा जारी किया गया हैवैक्यूम कोटिंग मशीन निर्मातागुआंग्डोंग झेंहुआ