वैक्यूम कैथोड आर्क आयनcoएटिंग को संक्षिप्त रूप में वैक्यूम आर्क कहा जाता हैcoयदि दो या अधिक वैक्यूम आर्क वाष्पीकरण स्रोतों (आर्क स्रोतों के रूप में संदर्भित) का उपयोग किया जाता है, तो इसे बहु आर्क आयन कहा जाता हैcoएटिंग या मल्टी आर्कcoयह एक वैक्यूम आयन कोटिंग तकनीक है जो वाष्पीकरण स्रोतों के लिए वैक्यूम आर्क डिस्चार्ज का उपयोग करती है। खोखले कैथोड डिस्चार्ज के गर्म इलेक्ट्रॉन आर्क के विपरीत, इसका आर्क रूप ठंडे कैथोड की सतह पर कैथोड आर्क स्पॉट का निर्माण है।
वैक्यूम कैथोड आर्क आयन की विशेषताएंcoखाने हैं:
(1) वाष्पीकरण स्रोत एक ठोस कैथोड लक्ष्य है, जो पिघले हुए पूल की आवश्यकता के बिना कैथोड लक्ष्य स्रोत से सीधे प्लाज्मा उत्पन्न करता है। चाप लक्ष्य स्रोत को किसी भी दिशा और कई स्रोतों में व्यवस्थित किया जा सकता है ताकि एक समान कोटिंग सुनिश्चित हो सके।
(2) उपकरण संरचना अपेक्षाकृत सरल है, काम करने वाली गैस या सहायक आयनीकरण विधियों की आवश्यकता के बिना। चाप लक्ष्य स्रोत न केवल कैथोड सामग्री के लिए वाष्पीकरण स्रोत है, बल्कि आयन स्रोत भी है; प्रतिक्रियाशील जमाव के दौरान, केवल प्रतिक्रियाशील गैस मौजूद होती है, और वातावरण को एक सरल पूर्ण दबाव नियंत्रण का उपयोग करके नियंत्रित किया जाता है।
(3) आयनीकरण दर अधिक है, आम तौर पर 60% ~ 80% तक पहुंचती है, और जमाव दर अधिक होती है।
(4) घटना आयन ऊर्जा अधिक है, और जमा फिल्म का फिल्म/सब्सट्रेट बंधन बल अच्छा है।
(5) सुरक्षित संचालन के लिए कम वोल्टेज बिजली आपूर्ति का उपयोग करना।
(6) यह धातु फिल्मों, मिश्र धातु फिल्मों को जमा कर सकता है, विभिन्न यौगिक फिल्मों (अमोनिया यौगिक, कार्बाइड, ऑक्साइड) को प्रतिक्रिया और संश्लेषित कर सकता है, और यहां तक कि डीएलसी फिल्मों, सीएन फिल्मों आदि को भी संश्लेषित कर सकता है। इसका नुकसान यह है कि जमाव के दौरान, लक्ष्य सतह से तरल की छोटी बूंदें छलकती हैं, जो लेपित फिल्म परत में संघनित होती हैं और फिल्म परत की खुरदरापन को बढ़ाती हैं। वर्तमान में, इन सूक्ष्म बूंदों को कम करने और खत्म करने के लिए कई प्रभावी तरीकों का अध्ययन किया गया है।
वैक्यूम आर्क आयनcoऔजारों और सांचों के लिए सुपरहार्ड सुरक्षात्मक कोटिंग्स को कोट करने के लिए कोटिंग तकनीक का व्यापक रूप से उपयोग किया गया है। फिल्म सिस्टम में TiN, ZrN, HfN, TiAIN, TiC, TiNC, CrN, Al2O3, DLC, आदि शामिल हैं। कोटिंग उत्पादों में औजार, सांचें आदि शामिल हैं। नकली सोने और रंगीन सजावटी सुरक्षात्मक कोटिंग्स के मामले में, फिल्म सिस्टम में TiN, ZrN, TiAIN, TiAINC, TC, TiNC, DLC, Ti-ON, TONC, ZrCN, Zr-ON, आदि शामिल हैं। रंगीन फिल्म सिस्टम में गन ब्लैक, ब्लैक, पर्पल, ब्राउन, ब्लू ग्रीन ग्रे आदि शामिल हैं।
मल्टी आर्क आयनcoकोटिंग में अनुप्रयोगों की एक विस्तृत श्रृंखला और मजबूत व्यावहारिकता है, विशेष रूप से काटने के उपकरण, मोल्ड और स्टेनलेस स्टील प्लेट जैसी सामग्रियों की सतहों पर सजावटी और पहनने के लिए प्रतिरोधी हार्ड फिल्म परतों को कोटिंग करने में।
पोस्ट करने का समय: अगस्त-17-2023