પ્રતિકાર બાષ્પીભવન સ્ત્રોત કોટિંગ એ મૂળભૂત શૂન્યાવકાશ બાષ્પીભવન કોટિંગ પદ્ધતિ છે. "બાષ્પીભવન" એ પાતળી ફિલ્મ તૈયારી પદ્ધતિનો ઉલ્લેખ કરે છે જેમાં વેક્યુમ ચેમ્બરમાં કોટિંગ સામગ્રીને ગરમ કરવામાં આવે છે અને બાષ્પીભવન કરવામાં આવે છે, જેથી સામગ્રીના અણુઓ અથવા પરમાણુઓ બાષ્પીભવન થાય છે અને સપાટી પરથી છટકી જાય છે, વરાળ પ્રવાહની ઘટના બનાવે છે, સબસ્ટ્રેટ અથવા સબસ્ટ્રેટની સપાટી પર ઘટના બને છે, અને અંતે ઘન ફિલ્મ બનાવવા માટે ઘટ્ટ થાય છે.
કહેવાતા પ્રતિકાર બાષ્પીભવન સ્ત્રોત કોટિંગ પદ્ધતિમાં ટેન્ટેલમ, મોલિબ્ડેનમ, ટંગસ્ટન અને અન્ય ઉચ્ચ ગલનબિંદુ ધાતુઓનો ઉપયોગ કરીને બાષ્પીભવન સ્ત્રોતનો યોગ્ય આકાર બનાવવામાં આવે છે, જે બાષ્પીભવન કરવા માટેની સામગ્રીથી ભરેલો હોય છે, હવાને વહેવા દે છે, બાષ્પીભવન કરાયેલ સામગ્રીને સીધી ગરમ કરે છે અને બાષ્પીભવન કરે છે, અથવા બાષ્પીભવન કરવા માટેની સામગ્રીને એલ્યુમિના, બેરિલિયમ ઓક્સાઇડ અને અન્ય ક્રુસિબલ્સમાં પરોક્ષ ગરમી અને બાષ્પીભવન માટે મૂકવામાં આવે છે. આ પ્રતિકાર ગરમી બાષ્પીભવન પદ્ધતિ છે.
આવેક્યુમ બાષ્પીભવન કોટિંગ મશીનરેઝિસ્ટન્સ હીટર દ્વારા ગરમ અને બાષ્પીભવન કરવામાં આવતા ફાયદાઓમાં સરળ રચના, ઓછી કિંમત અને વિશ્વસનીય ઉપયોગનો સમાવેશ થાય છે. તેનો ઉપયોગ નીચા ગલનબિંદુ ધરાવતી સામગ્રીના બાષ્પીભવન કોટિંગ માટે થઈ શકે છે, ખાસ કરીને કોટિંગ ગુણવત્તા માટે ઓછી આવશ્યકતાઓ સાથે મોટા પાયે ઉત્પાદન માટે. અત્યાર સુધી, એલ્યુમિનાઇઝ્ડ મિરર્સના ઉત્પાદનમાં રેઝિસ્ટન્સ હીટિંગ અને બાષ્પીભવનની મોટી સંખ્યામાં કોટિંગ પ્રક્રિયાઓનો ઉપયોગ કરવામાં આવે છે.
પ્રતિકાર બાષ્પીભવન સ્ત્રોત બાષ્પીભવન કોટિંગ પદ્ધતિના ગેરફાયદા એ છે કે ગરમી દ્વારા પહોંચી શકાય તેવું મહત્તમ તાપમાન મર્યાદિત છે, અને હીટરની સેવા જીવન પણ ટૂંકી છે. તાજેતરના વર્ષોમાં, પ્રતિકાર બાષ્પીભવન સ્ત્રોતના જીવનને સુધારવા માટે, સાધન ફેક્ટરીએ બોરોન નાઇટ્રાઇડ દ્વારા સંશ્લેષિત વાહક સિરામિક સામગ્રીને બાષ્પીભવન સ્ત્રોત તરીકે લાંબા આયુષ્ય સાથે અપનાવી છે. જાપાની પેટન્ટ રિપોર્ટ મુજબ, તે 20% ~ 30% બોરોન નાઇટ્રાઇડ અને પ્રત્યાવર્તન સામગ્રીથી બનેલી સામગ્રીનો ઉપયોગ કરી શકે છે જે તેની સાથે બાષ્પીભવન સ્ત્રોત (ક્રુસિબલ) બનાવવા માટે ફ્યુઝ કરી શકાય છે, અને તેની સપાટીને 62% ~ 82% ધરાવતા ઝિર્કોનિયમના સ્તરથી કોટ કરી શકે છે, અને બાકીના ઝિર્કોનિયમ-સિલિકોન એલોય સામગ્રી છે.
પોસ્ટ સમય: એપ્રિલ-૨૨-૨૦૨૩

