સ્પટરિંગ કોટિંગ પ્રક્રિયામાં, રાસાયણિક રીતે સંશ્લેષિત ફિલ્મો તૈયાર કરવા માટે સંયોજનોનો ઉપયોગ લક્ષ્ય તરીકે થઈ શકે છે. જો કે, લક્ષ્ય સામગ્રીના સ્પટરિંગ પછી ઉત્પન્ન થતી ફિલ્મની રચના ઘણીવાર લક્ષ્ય સામગ્રીની મૂળ રચનાથી ઘણી વિચલિત થાય છે, અને તેથી તે મૂળ ડિઝાઇનની જરૂરિયાતોને પૂર્ણ કરતી નથી. જો શુદ્ધ ધાતુના લક્ષ્યનો ઉપયોગ કરવામાં આવે છે, તો જરૂરી સક્રિય ગેસ (દા.ત., ઓક્સાઇડ ફિલ્મો તૈયાર કરતી વખતે ઓક્સિજન) સભાનપણે કાર્યકારી (ડિસ્ચાર્જ) ગેસમાં મિશ્રિત થાય છે, જેથી તે લક્ષ્ય સામગ્રી સાથે રાસાયણિક રીતે પ્રતિક્રિયા આપીને એક પાતળી ફિલ્મ ઉત્પન્ન કરે છે જેને તેની રચના અને લાક્ષણિકતાઓના સંદર્ભમાં નિયંત્રિત કરી શકાય છે. આ પદ્ધતિને ઘણીવાર "પ્રતિક્રિયા સ્પટરિંગ" તરીકે ઓળખવામાં આવે છે.
અગાઉ ઉલ્લેખ કર્યો છે તેમ, RF સ્પટરિંગનો ઉપયોગ ડાઇલેક્ટ્રિક ફિલ્મો અને વિવિધ સંયોજન ફિલ્મો જમા કરવા માટે થઈ શકે છે. જો કે, "શુદ્ધ" ફિલ્મ તૈયાર કરવા માટે, "શુદ્ધ" લક્ષ્ય, ઉચ્ચ-શુદ્ધતા ઓક્સાઇડ, નાઇટ્રાઇડ, કાર્બાઇડ અથવા અન્ય સંયોજન પાવડર હોવો જરૂરી છે. આ પાવડરને ચોક્કસ આકારના લક્ષ્યમાં પ્રક્રિયા કરવા માટે મોલ્ડિંગ અથવા સિન્ટરિંગ માટે જરૂરી ઉમેરણો ઉમેરવાની જરૂર પડે છે, જેના પરિણામે લક્ષ્ય અને પરિણામી ફિલ્મની શુદ્ધતામાં નોંધપાત્ર ઘટાડો થાય છે. જોકે, પ્રતિક્રિયાશીલ સ્પટરિંગમાં, ઉચ્ચ-શુદ્ધતા ધાતુઓ અને ઉચ્ચ-શુદ્ધતા વાયુઓનો ઉપયોગ કરી શકાય છે, તેથી ઉચ્ચ-શુદ્ધતા ફિલ્મોની તૈયારી માટે અનુકૂળ પરિસ્થિતિઓ પૂરી પાડવામાં આવે છે. તાજેતરના વર્ષોમાં પ્રતિક્રિયાશીલ સ્પટરિંગ પર વધુ ધ્યાન આપવામાં આવ્યું છે અને તે વિવિધ કાર્યાત્મક સંયોજનોની પાતળા ફિલ્મોને અવક્ષેપિત કરવા માટે એક મુખ્ય પદ્ધતિ બની ગઈ છે. તેનો વ્યાપકપણે IV, I- અને IV-V સંયોજનો, પ્રત્યાવર્તન સેમિકન્ડક્ટર્સ અને વિવિધ પ્રકારના ઓક્સાઇડના ઉત્પાદનમાં ઉપયોગ થાય છે, જેમ કે SiC પાતળા ફિલ્મોના અવક્ષેપને શૂટ કરવા માટે વાયુઓના પોલીક્રિસ્ટલાઇન Si અને CH./Ar મિશ્રણનો ઉપયોગ, TiN હાર્ડ ફિલ્મો તૈયાર કરવા માટે Ti લક્ષ્ય અને N/Ar, TaO તૈયાર કરવા માટે Ta અને O/Ar; -FezO તૈયાર કરવા માટે ડાઇલેક્ટ્રિક પાતળા ફિલ્મો, Fe અને O,/Ar; -FezO. રેકોર્ડિંગ ફિલ્મો, A1 અને N/Ar સાથે AIN પાઇઝોઇલેક્ટ્રિક ફિલ્મો, AI અને CO/Ar સાથે A1-CO પસંદગીયુક્ત શોષણ ફિલ્મો, અને Y-Ba-Cu અને O/Ar સાથે YBaCuO-સુપરકન્ડક્ટિંગ ફિલ્મો, અન્ય.
- આ લેખ પ્રકાશિત થયો છેવેક્યુમ કોટિંગ મશીન ઉત્પાદકગુઆંગડોંગ ઝેન્હુઆ
પોસ્ટ સમય: જાન્યુઆરી-૧૮-૨૦૨૪