વેક્યુમ કેથોડ આર્ક આયન કોટિંગનું વિહંગાવલોકન

વેક્યુમ કેથોડ આર્ક આયનcoએટીંગને શૂન્યાવકાશ ચાપ તરીકે સંક્ષિપ્ત કરવામાં આવે છે.coજો બે કે તેથી વધુ શૂન્યાવકાશ ચાપ બાષ્પીભવન સ્ત્રોતો (જેને ચાપ સ્ત્રોતો તરીકે ઓળખવામાં આવે છે) નો ઉપયોગ કરવામાં આવે છે, તો તેને મલ્ટીઆર્ક આયન કહેવામાં આવે છેcoએટિંગ અથવા મલ્ટી આર્કcoએટિંગ. તે એક વેક્યુમ આયન કોટિંગ ટેકનોલોજી છે જે બાષ્પીભવન સ્ત્રોતો માટે વેક્યુમ આર્ક ડિસ્ચાર્જનો ઉપયોગ કરે છે. હોલો કેથોડ ડિસ્ચાર્જના ગરમ ઇલેક્ટ્રોન આર્કથી વિપરીત, તેનું ચાપ સ્વરૂપ ઠંડા કેથોડની સપાટી પર કેથોડ આર્ક સ્પોટનું નિર્માણ છે.

વેક્યુમ કેથોડ આર્ક આયનની લાક્ષણિકતાઓcoખાવાથી છે:

(૧) બાષ્પીભવન સ્ત્રોત એક ઘન કેથોડ લક્ષ્ય છે, જે પીગળેલા પૂલની જરૂર વગર કેથોડ લક્ષ્ય સ્ત્રોતમાંથી સીધા પ્લાઝ્મા ઉત્પન્ન કરે છે. એકસમાન કોટિંગ સુનિશ્ચિત કરવા માટે ચાપ લક્ષ્ય સ્ત્રોતને કોઈપણ દિશામાં અને બહુવિધ સ્ત્રોતોમાં ગોઠવી શકાય છે.

(2) સાધનસામગ્રીનું માળખું પ્રમાણમાં સરળ છે, જેમાં કાર્યકારી ગેસ અથવા સહાયક આયનીકરણ પદ્ધતિઓની જરૂર નથી. ચાપ લક્ષ્ય સ્ત્રોત માત્ર કેથોડ સામગ્રી માટે બાષ્પીભવન સ્ત્રોત નથી, પણ આયન સ્ત્રોત પણ છે; પ્રતિક્રિયાશીલ નિક્ષેપ દરમિયાન, ફક્ત પ્રતિક્રિયાશીલ ગેસ અસ્તિત્વમાં હોય છે, અને વાતાવરણને સરળ સંપૂર્ણ દબાણ નિયંત્રણનો ઉપયોગ કરીને નિયંત્રિત કરવામાં આવે છે.

(3) આયનીકરણ દર ઊંચો છે, સામાન્ય રીતે 60% ~ 80% સુધી પહોંચે છે, અને નિક્ષેપ દર ઊંચો છે.

(૪) આપાત આયન ઊર્જા ઊંચી છે, અને જમા થયેલ ફિલ્મનું ફિલ્મ/સબસ્ટ્રેટ બંધન બળ સારું છે.

(૫) સલામત કામગીરી માટે ઓછા વોલ્ટેજ પાવર સપ્લાયનો ઉપયોગ કરવો.

(6) તે ધાતુની ફિલ્મો, એલોય ફિલ્મો જમા કરી શકે છે, વિવિધ સંયોજન ફિલ્મો (એમોનિયા સંયોજનો, કાર્બાઇડ્સ, ઓક્સાઇડ્સ) ને પ્રતિક્રિયા અને સંશ્લેષણ કરી શકે છે, અને DLC ફિલ્મો, CN ફિલ્મો વગેરેનું પણ સંશ્લેષણ કરી શકે છે. તેનો ગેરલાભ એ છે કે નિક્ષેપ દરમિયાન, પ્રવાહીના નાના ટીપાં લક્ષ્ય સપાટી પરથી છલકાય છે, જે કોટેડ ફિલ્મ સ્તરમાં ઘટ્ટ થાય છે અને ફિલ્મ સ્તરની ખરબચડીતામાં વધારો કરે છે. હાલમાં, આ સૂક્ષ્મ ટીપાં ઘટાડવા અને દૂર કરવા માટે ઘણી અસરકારક પદ્ધતિઓનો અભ્યાસ કરવામાં આવ્યો છે.

વેક્યુમ આર્ક આયનcoટૂલ્સ અને મોલ્ડ માટે સુપરહાર્ડ રક્ષણાત્મક કોટિંગ્સ કોટ કરવા માટે એટિંગ ટેકનોલોજીનો વ્યાપકપણે ઉપયોગ કરવામાં આવ્યો છે. ફિલ્મ સિસ્ટમ્સમાં TiN, ZrN, HfN, TiAIN, TiC, TiNC, CrN, Al2O3, DLC, વગેરેનો સમાવેશ થાય છે. કોટિંગ ઉત્પાદનોમાં ટૂલ્સ, મોલ્ડ વગેરેનો સમાવેશ થાય છે. ઇમિટેશન ગોલ્ડ અને કલર ડેકોરેટિવ પ્રોટેક્ટિવ કોટિંગ્સની દ્રષ્ટિએ, ફિલ્મ સિસ્ટમ્સમાં TiN, ZrN, TiAIN, TiAINC, TC, TiNC, DLC, Ti-ON, TONC, ZrCN, Zr-ON, વગેરેનો સમાવેશ થાય છે. કલર ફિલ્મ સિસ્ટમ્સમાં ગન બ્લેક, બ્લેક, પર્પલ, બ્રાઉન, બ્લુ ગ્રીન ગ્રે, વગેરેનો સમાવેશ થાય છે.

મલ્ટી આર્ક આયનcoએટિંગમાં વિશાળ શ્રેણીના ઉપયોગો અને મજબૂત વ્યવહારિકતા છે, ખાસ કરીને કટીંગ ટૂલ્સ, મોલ્ડ અને સ્ટેનલેસ સ્ટીલ પ્લેટ્સ જેવી સામગ્રીની સપાટી પર સુશોભન અને વસ્ત્રો-પ્રતિરોધક સખત ફિલ્મ સ્તરોને કોટિંગ કરવામાં.