'S e dòigh-obrach bunaiteach airson còmhdach stòr falmhachaidh an aghaidh falmhachaidh a th' ann. Tha "falmhachadh" a' toirt iomradh air dòigh-obrach airson film tana ullachadh anns a bheil an stuth còmhdach anns an t-seòmar falmhachaidh air a theasachadh agus air a ghalmhachadh, gus am bi dadaman no moileciuilean an stuth a' falmhachadh agus a' teicheadh bhon uachdar, a' cruthachadh iongantas sruthadh-smùide, a' tachairt air uachdar an t-substrate no an t-substrate, agus mu dheireadh air a dhlùthadh gus film chruaidh a chruthachadh.
Is e an dòigh còmhdach stòr falmhachaidh an aghaidh mar a chanar ris tantalum, molybdenum, tungsten agus meatailtean eile le puing leaghaidh àrd a chleachdadh gus cruth iomchaidh a dhèanamh air stòr falmhachaidh, a tha làn de stuthan a tha ri falmhachadh, a’ leigeil leis an èadhar sruthadh troimhe, a’ teasachadh agus a’ falmhachadh nan stuthan a tha ri falmhachadh gu dìreach, no a’ cur nan stuthan a tha ri falmhachadh ann an alumina, beryllium oxide agus crogain eile airson teasachadh agus falmhachadh neo-dhìreach. Is e seo an dòigh falmhachaidh teasachaidh an aghaidh.
Aninneal còmhdach falamh falamhTha buannachdan aig teasachadh is falmhachadh le teasadair strì an aghaidh structar sìmplidh, cosgais ìseal agus cleachdadh earbsach. Faodar a chleachdadh airson còmhdach falmhachaidh stuthan le puing leaghaidh ìosal, gu sònraichte airson cinneasachadh mòr le riatanasan ìosal airson càileachd còmhdach. Gu ruige seo, tha àireamh mhòr de phròiseasan còmhdach teasachadh strì agus falmhachaidh fhathast gan cleachdadh ann an cinneasachadh sgàthanan alùmanaichte.
Is e eas-bhuannachdan dòigh còmhdach falmhachaidh stòr falmhachaidh an aghaidh gu bheil an teòthachd as àirde a ghabhas ruighinn le teasachadh cuibhrichte, agus gu bheil beatha seirbheis an teasadair goirid cuideachd. Anns na bliadhnachan mu dheireadh, gus beatha an stòr falmhachaidh an aghaidh a leasachadh, tha factaraidh uidheamachd air stuth ceirmeag giùlain air a cho-chur le boron nitride le beatha fhada a ghabhail mar an stòr falmhachaidh. A rèir aithisg peutant Iapanach, faodaidh iad stuthan a chleachdadh air an dèanamh suas de 20% ~ 30% boron nitride agus stuthan teas-dhìonach a dh’ fhaodar a cheangal ris gus an stòr falmhachaidh (crucible) a dhèanamh, agus an uachdar a chòmhdach le sreath de shiorconium anns a bheil 62% ~ 82%, agus an còrr nan stuthan aloidh sirconium-silicon.
Àm puist: 22 Giblean 2023

