Anns a’ phròiseas còmhdach sputtering, faodar todhar a chleachdadh mar thargaidean airson ullachadh fhilmichean a chaidh a cho-chur gu ceimigeach. Ach, bidh co-dhèanamh an fhilm a thèid a chruthachadh às deidh sputtering an stuth targaid gu tric gu math eadar-dhealaichte bhon cho-dhèanamh tùsail den stuth targaid, agus mar sin chan eil e a’ coinneachadh ri riatanasan an dealbhaidh thùsail. Ma thèid targaid meatailt fìor-ghlan a chleachdadh, thèid an gas gnìomhach a tha a dhìth (me, ocsaidean nuair a thathar ag ullachadh fhilmichean ocsaid) a mheasgachadh gu mothachail a-steach don ghas obrach (sgaoilidh), gus am bi e ag ath-bhualadh gu ceimigeach leis an stuth targaid gus film tana a thoirt gu buil a ghabhas smachd a chumail air a cho-dhèanamh agus a fheartan. Canar “sputtering ath-bhualadh” ris an dòigh seo gu tric.
Mar a chaidh ainmeachadh roimhe, faodar sputtering RF a chleachdadh gus filmichean dielectric agus diofar fhilmichean co-thàthaichte a thasgadh. Ach, gus film “fìor-ghlan” ullachadh, feumar targaid “fìor-ghlan” a bhith agad, ocsaid, nitride, carbide, no pùdar co-thàthaichte àrd-ghlan. Feumaidh giullachd nam pùdar sin gu bhith nan targaid de chumadh sònraichte stuthan cur-ris a tha riatanach airson molltair no sintering, a tha a’ leantainn gu lùghdachadh mòr ann am purrachd an targaid agus am film a thig às. Ann an sputtering ath-ghnìomhach, ge-tà, leis gum faodar meatailtean àrd-ghlanachd agus gasaichean àrd-ghlanachd a chleachdadh, tha suidheachaidhean goireasach air an toirt seachad airson ullachadh fhilmichean àrd-ghlanachd. Tha sputtering ath-ghnìomhach air barrachd is barrachd aire fhaighinn anns na bliadhnachan mu dheireadh agus tha e air a thighinn gu bhith na phrìomh dhòigh airson filmichean tana de dhiofar choimeasgaidhean gnìomh a dheasachadh. Chaidh a chleachdadh gu farsaing ann an saothrachadh choimeasgaidhean IV, I- agus IV-V, leth-chonnsachaidhean teasfhulangach, agus measgachadh de ocsaidean, leithid cleachdadh measgachadh ghasan polycrystalline Si agus CH₄/Ar gus sileadh fhilmichean tana SiC a losgadh, targaid Ti agus N/Ar gus filmichean cruaidh TiN ullachadh, Ta agus O/Ar gus TaO ullachadh; filmichean tana dielectric, Fe agus O,/Ar gus -FezO ullachadh; filmichean clàraidh -FezO, filmichean piezoelectric AIN le A1 agus N/Ar, filmichean gabhail roghnach A1-CO le AI agus CO/Ar, agus filmichean superconducting YBaCuO le Y-Ba-Cu agus O/Ar, am measg feadhainn eile.
–Tha an t-artaigil seo air fhoillseachadh leneach-dèanamh inneal còmhdach falamhGuangdong Zhenhua
Àm puist: 18 Faoilleach 2024