Sa phróiseas sciath spútarála, is féidir comhdhúile a úsáid mar spriocanna chun scannáin atá sintéisithe go ceimiceach a ullmhú. Mar sin féin, is minic a bhíonn comhdhéanamh an scannáin a ghintear tar éis spútaráil an ábhair sprice go mór difriúil ó chomhdhéanamh bunaidh an ábhair sprice, agus dá bhrí sin ní chomhlíonann sé riachtanais an dearaidh bhunaidh. Má úsáidtear sprioc miotail íon, measctar an gás gníomhach riachtanach (m.sh., ocsaigin agus scannáin ocsaíde á n-ullmhú) go comhfhiosach isteach sa ghás oibre (urscaoilte), ionas go n-imoibríonn sé go ceimiceach leis an ábhar sprice chun scannán tanaí a tháirgeadh ar féidir a rialú ó thaobh a chomhdhéanamh agus a thréithe de. Is minic a thugtar “spútaráil imoibrithe” ar an modh seo.
Mar a luadh cheana, is féidir spútaradh RF a úsáid chun scannáin thréleictreacha agus scannáin chumaisc éagsúla a thaisceadh. Mar sin féin, chun scannán “íon” a ullmhú, is gá sprioc “íon” a bheith agat, ocsaíd ard-íonachta, níotráit, cairbíd, nó púdar cumaisc eile. Chun na púdair seo a phróiseáil i sprioc de chruth áirithe, ní mór breiseáin a chur leis atá riachtanach le haghaidh múnlú nó shintéiriú, rud a fhágann laghdú suntasach ar íonacht na sprice agus an scannáin mar thoradh air. I spútaradh imoibríoch, áfach, ós rud é gur féidir miotail ard-íonachta agus gáis ard-íonachta a úsáid, cuirtear coinníollacha áisiúla ar fáil chun scannáin ard-íonachta a ullmhú. Tá aird mhéadaitheach faighte ag spútaradh imoibríoch le blianta beaga anuas agus tá sé ina mhodh mór chun scannáin tanaí de chomhdhúile feidhmiúla éagsúla a dheascadh. Úsáideadh go forleathan é i ndéantúsaíocht comhdhúile IV, I- agus IV-V, leathsheoltóirí teasfhulangacha, agus réimse ocsaídí, amhail úsáid meascán gás polachriostalach Si agus CH₄/Ar chun deascadh scannán tanaí SiC a lámhach, sprioc Ti agus N/Ar chun scannáin chrua TiN a ullmhú, Ta agus O/Ar chun TaO₂ a ullmhú; scannáin tanaí tréleictreacha, Fe agus O₂/Ar chun -FezO₂ a ullmhú; scannáin taifeadta -FezO₂, scannáin piezoleictreacha AIN le A1 agus N/Ar, scannáin ionsúcháin roghnacha A1-CO le AI agus CO/Ar, agus scannáin fhorsheoltacha YBaCuO le Y-Ba-Cu agus O/Ar, i measc rudaí eile.
–Tá an t-alt seo eisithe agmonaróir meaisín sciath folúisGuangdong Zhenhua
Am an phoist: 18 Eanáir 2024