Arc ionique cathodique sous videcoating est abrégé en arc sous videcoSi deux ou plusieurs sources d'évaporation à arc sous vide (appelées sources d'arc) sont utilisées, on parle d'ionisation à arcs multiplescoarc de cercle ou multi-arccoIl s'agit d'une technologie de revêtement ionique sous vide utilisant une décharge à arc sous vide comme source d'évaporation. Contrairement à l'arc électronique chaud de la décharge à cathode creuse, sa forme d'arc se traduit par la formation de points d'arc cathodique à la surface de la cathode froide.
Les caractéristiques de l'arc ionique cathodique sous videcoLes éléments suivants sont :
(1) La source d'évaporation est une cible cathodique solide, qui génère directement du plasma à partir de la source cible cathodique, sans nécessiter de bain de fusion. La source cible à arc peut être disposée dans n'importe quelle direction et comporter plusieurs sources pour assurer un revêtement uniforme.
(2) La structure de l'équipement est relativement simple, ne nécessitant ni gaz de travail ni méthodes d'ionisation auxiliaires. La source cible de l'arc sert non seulement de source d'évaporation pour le matériau cathodique, mais aussi de source d'ions. Lors du dépôt réactif, seul le gaz réactif est présent et l'atmosphère est contrôlée par un simple contrôle de pression.
(3) Le taux d'ionisation est élevé, atteignant généralement 60 % à 80 %, et le taux de dépôt est élevé.
(4) L'énergie ionique incidente est élevée et la force de liaison film/substrat du film déposé est bonne.
(5) Utilisation d’une alimentation basse tension pour un fonctionnement sûr.
(6) Il permet de déposer des films métalliques et d'alliages, de réagir et de synthétiser divers films composés (composés d'ammoniac, carbures, oxydes), et même de synthétiser des films DLC, des films CN, etc. Son inconvénient est que, lors du dépôt, de minuscules gouttelettes de liquide sont projetées depuis la surface cible, se condensant dans la couche de film revêtue et augmentant sa rugosité. Actuellement, de nombreuses méthodes efficaces ont été étudiées pour réduire et éliminer ces microgouttelettes.
Arc ionique sous videcoLa technologie de revêtement est largement utilisée pour recouvrir des revêtements de protection ultra-durs pour outils et moules. Les films comprennent TiN, ZrN, HfN, TiAIN, TiC, TiNC, CrN, Al₂O₃, DLC, etc. Les produits de revêtement incluent les outils, les moules, etc. En ce qui concerne les revêtements de protection décoratifs imitation or et colorés, les films comprennent TiN, ZrN, TiAIN, TiAINC, TC, TiNC, DLC, Ti-ON, TONC, ZrCN, Zr-ON, etc. Les films couleur comprennent le noir canon, le noir, le violet, le marron, le bleu-vert-gris, etc.
Arc ionique multi-arcscoLe revêtement présente une large gamme d'applications et une grande praticité, en particulier dans le revêtement de couches de film dur décoratives et résistantes à l'usure sur les surfaces de matériaux tels que les outils de coupe, les moules et les plaques en acier inoxydable.
Date de publication : 17 août 2023