Mikä on vastushaihtumisen lähdepinnoite?

Vastushaihdutuslähdepinnoitus on perustyyppinen tyhjiöhaihdutuspinnoitusmenetelmä. "Haihdutus" viittaa ohutkalvon valmistusmenetelmään, jossa tyhjiökammiossa olevaa pinnoitemateriaalia kuumennetaan ja haihdutetaan siten, että materiaalin atomit tai molekyylit höyrystyvät ja poistuvat pinnalta muodostaen höyryvirtausilmiön, joka tulee substraatin tai substraatin pinnalle ja lopulta tiivistyy kiinteäksi kalvoksi.

Niin sanotussa vastuslämmityshöyrystyslähteen pinnoitusmenetelmässä käytetään tantaalia, molybdeeniä, volframia ja muita korkean sulamispisteen metalleja sopivan muotoisen haihdutuslähteen valmistamiseksi, johon laitetaan haihdutettavia materiaaleja, annetaan ilman virrata läpi, haihdutetut materiaalit lämmitetään ja haihdutetaan suoraan tai haihdutettavat materiaalit laitetaan alumiinioksidiin, berylliumoksidiin ja muihin upokkaisiin epäsuoraa lämmitystä ja haihdutusta varten. Tämä on vastuslämmityshöyrystysmenetelmä.

ThetyhjiöhaihdutuspäällystyskoneVastuslämmittimellä lämmitetyllä ja haihdutetulla pinnoituksella on yksinkertaisen rakenteen, alhaisen kustannusten ja luotettavan käytön etuna. Sitä voidaan käyttää alhaisen sulamispisteen omaavien materiaalien haihdutuspinnoitukseen, erityisesti massatuotannossa, jossa pinnoitteen laatuvaatimukset ovat alhaiset. Tähän mennessä on edelleen olemassa suuri määrä vastuslämmityksen ja haihdutuksen pinnoitusprosesseja, joita käytetään alumiinistettujen peilien valmistuksessa.

Vastushaihdutuslähteen haihdutuspinnoitusmenetelmän haittapuolena on, että lämmityksellä saavutettava maksimilämpötila on rajallinen ja lämmittimen käyttöikä on myös lyhyt. Viime vuosina vastushaihdutuslähteen käyttöiän parantamiseksi laitetehdas on ottanut käyttöön boorinitridillä syntetisoidun johtavan ja pitkäikäisen keraamisen materiaalin haihdutuslähteenä. Japanilaisen patenttiraportin mukaan haihdutuslähteen (upokkaan) valmistuksessa voidaan käyttää 20–30 % boorinitridistä koostuvia materiaaleja ja siihen sulatettuja tulenkestäviä materiaaleja, ja sen pinta voidaan päällystää 62–82 % boorinitridiä sisältävällä zirkoniumkerroksella, ja loput ovat zirkonium-piiseosmateriaaleja.