Tyhjiökatodi kaari-ionicoating on lyhennetty tyhjiökaariksicoating. Jos käytetään kahta tai useampaa tyhjiökaarihöyrystyslähdettä (joita kutsutaan valokaarilähteiksi), sitä kutsutaan monikaarihöyrystykseksi.coating tai monikaaricoating. Se on tyhjiöionipinnoitustekniikka, jossa höyrystyslähteinä käytetään tyhjiökaaripurkausta. Toisin kuin onttojen katodipurkausten kuumaelektronikaari, sen valokaarimuoto on katodin valokaaripisteiden muodostuminen kylmän katodin pinnalle.
Tyhjiökatodikaari-ionin ominaisuudetcoating ovat:
(1) Höyrystyslähde on kiinteä katodikohde, joka tuottaa plasmaa suoraan katodikohdelähteestä ilman sulaa allasta. Kaarikohdelähde voidaan sijoittaa mihin tahansa suuntaan ja useisiin lähteisiin tasaisen pinnoitteen varmistamiseksi.
(2) Laitteen rakenne on suhteellisen yksinkertainen, eikä siinä tarvita työkaasua tai apuaionisaatiomenetelmiä. Kaarikohdelähde ei ole ainoastaan katodimateriaalin haihdutuslähde, vaan myös ionilähde; Reaktiivisen laskeuman aikana on olemassa vain reaktiivinen kaasu, ja ilmakehää ohjataan yksinkertaisella täyden paineen säädöllä.
(3) Ionisaatioaste on korkea, yleensä 60–80 %, ja laskeutumisaste on korkea.
(4) Tulevan ionin energia on korkea ja kerrostuneen kalvon kalvon ja alustan välinen sidosvoima on hyvä.
(5) Käytä matalajännitteistä virtalähdettä turvallisen käytön varmistamiseksi.
(6) Sillä voidaan kerrostaa metallikalvoja, seoskalvoja, reagoida ja syntetisoida erilaisia yhdistekalvoja (ammoniakkiyhdisteitä, karbideja, oksideja) ja jopa syntetisoida DLC-kalvoja, CN-kalvoja jne. Sen haittapuolena on, että kerrostuksen aikana kohdepinnalta roiskuu pieniä nestepisaroita, jotka tiivistyvät pinnoitettuun kalvokerrokseen ja lisäävät kalvokerroksen karheutta. Tällä hetkellä on tutkittu monia tehokkaita menetelmiä näiden mikropisaroiden vähentämiseksi ja poistamiseksi.
Tyhjiökaari-ionicoPinnoitusteknologiaa on käytetty laajalti työkalujen ja muottien superkovien suojapinnoitteiden päällystämiseen. Kalvojärjestelmiin kuuluvat TiN, ZrN, HfN, TiAIN, TiC, TiNC, CrN, Al2O3, DLC jne. Pinnoitustuotteisiin kuuluvat työkalut, muotit jne. Kullanjäljitelmien ja värillisten koristeellisten suojapinnoitteiden osalta kalvojärjestelmiin kuuluvat TiN, ZrN, TiAIN, TiAINC, TC, TiNC, DLC, Ti-ON, TONC, ZrCN, Zr-ON jne. Värillisiin kalvojärjestelmiin kuuluvat musta, musta, violetti, ruskea, sininen, vihreä, harmaa jne.
Monikaari-ionicoPinnoitteella on laaja valikoima sovelluksia ja vahva käytännöllisyys, erityisesti koristeellisten ja kulutusta kestävien kovien kalvokerrosten pinnoittamisessa materiaalien, kuten leikkaustyökalujen, muottien ja ruostumattomien teräslevyjen, pinnoille.
Julkaisun aika: 17. elokuuta 2023