Sputtering bidezko estaldura prozesuan, konposatuak erabil daitezke kimikoki sintetizatutako filmak prestatzeko helburu gisa. Hala ere, helburu-materiala sputtering bidez ihinztatu ondoren sortutako filmaren konposizioa askotan asko aldentzen da helburu-materialaren jatorrizko konposiziotik, eta, beraz, ez ditu jatorrizko diseinuaren baldintzak betetzen. Metal puruzko helburu bat erabiltzen bada, beharrezko gas aktiboa (adibidez, oxigenoa oxido-filmak prestatzerakoan) kontzienteki nahasten da lan-gasean (deskargatzeko), kimikoki erreakziona dezan helburu-materialarekin, bere konposizioan eta ezaugarrietan kontrola daitekeen film mehe bat sortzeko. Metodo honi askotan "erreakzio-sputtering" deitzen zaio.
Aurretik aipatu bezala, RF sputtering-a erabil daiteke film dielektrikoak eta hainbat film konposatu metatzeko. Hala ere, film "puru" bat prestatzeko, beharrezkoa da "joko puru" bat izatea, oxido, nitruro, karburo edo beste hauts konposatu puru bat. Hauts hauek forma jakin bateko joku batean prozesatzeko, moldeatzeko edo sinterizatzeko beharrezkoak diren gehigarriak gehitu behar dira, eta horrek jokuaren eta ondoriozko filmaren purutasuna nabarmen murrizten du. Sputtering erreaktiboetan, ordea, metal puruak eta gas puruak erabil daitezkeenez, baldintza egokiak eskaintzen dira film puruak prestatzeko. Sputtering erreaktiboak gero eta arreta handiagoa jaso du azken urteotan eta hainbat konposatu funtzionalen film meheak prezipitatzeko metodo nagusi bihurtu da. IV, I- eta IV-V konposatuen, errefraktore erdieroaleen eta hainbat oxidoren fabrikazioan erabili izan da, hala nola, Si polikristalino eta CH₄/Ar gasen nahasketa SiC film meheen prezipitazioa jaurtitzeko, Ti diana eta N/Ar TiN film gogorrak prestatzeko, Ta eta O/Ar TaO₂ prestatzeko; film mehe dielektrikoetan, Fe eta O₂/Ar -FezO₂ prestatzeko; -FezO₂ grabazio-filmetan, A1 eta N/Ar-rekin AIN film piezoelektrikoak, AI eta CO/Ar-rekin A1-CO xurgapen selektiboko filmak, eta Y-Ba-Cu eta O/Ar-rekin YBaCuO-supereroale diren filmak, besteak beste.
–Artikulu hau argitaratu duhutsean estaltzeko makina fabrikatzaileaGuangdong Zhenhua
Argitaratze data: 2024ko urtarrilaren 18a