Hutsean katodoaren arku ioiacoating hutsune-arku gisa laburtzen dacoBi huts-arku lurruntze iturri edo gehiago (arku iturri deiturikoak) erabiltzen badira, ioi arku anitzekoa deitzen zaio.coarku anitzekoa edo atingcoating. Hutsean ioi estaldura teknologia bat da, lurruntze iturrietarako hutsean arku deskarga erabiltzen duena. Katodo hutsaren deskargaren arku elektroi beroaren aldean, bere arku forma katodo hotzaren gainazalean katodo arku orbanak sortzea da.
Hutsean katodoko arku ioiaren ezaugarriakcohonako hauek dira:
(1) Lurruntze-iturria katodo solido baten jomuga da, eta plasma zuzenean sortzen du katodoaren jomuga-iturritik urtutako putzurik behar izan gabe. Arkuaren jomuga-iturria edozein norabidetan eta hainbat iturritan jar daiteke estaldura uniformea bermatzeko.
(2) Ekipamenduaren egitura nahiko sinplea da, ez du lan-gasik edo ionizazio-metodo osagarririk behar. Arku-helburuaren iturria ez da katodo-materialaren lurruntze-iturri bat bakarrik, baita ioi-iturri bat ere; Erreakzio-deposizioan, gas erreaktiboa bakarrik dago, eta atmosfera presio osoko kontrol sinple bat erabiliz kontrolatzen da.
(3) Ionizazio-tasa altua da, oro har % 60~80ra iristen da, eta deposizio-tasa handia da.
(4) Ioi erasotzailearen energia altua da, eta metatutako filmaren film/substratu lotura-indarra ona da.
(5) Tentsio baxuko elikatze-iturria erabiltzea funtzionamendu segurua bermatzeko.
(6) Metalezko filmak, aleaziozko filmak metatu ditzake, hainbat konposatu-film (amoniako konposatuak, karburoak, oxidoak) erreakzionatu eta sintetizatu ditzake, eta baita DLC filmak, CN filmak eta abar sintetizatu ere. Bere desabantaila da metatzean likido tanta txikiak gainazaletik zipriztintzen direla, estalitako film geruzan kondentsatzen direnak eta film geruzaren zimurtasuna handitzen dutenak. Gaur egun, mikro tanta horiek murrizteko eta ezabatzeko metodo eraginkor asko aztertu dira.
Hutsean arku ioiacoEstaldura-teknologia oso erabilia izan da erreminta eta moldeetarako babes-estaldura supergogorrak estaltzeko. Film-sistemen artean daude TiN, ZrN, HfN, TiAIN, TiC, TiNC, CrN, Al2O3, DLC, etab. Estaldura-produktuen artean daude erremintak, moldeak, etab. Urre imitazioari eta koloretako babes-estaldura apaingarriei dagokienez, film-sistemen artean daude TiN, ZrN, TiAIN, TiAINC, TC, TiNC, DLC, Ti-ON, TONC, ZrCN, Zr-ON, etab. Koloretako film-sistemen artean daude pistola-beltza, beltza, morea, marroia, urdin berdea, grisa, etab.
Arku anitzeko ioiacoAting-ak aplikazio sorta zabala eta praktikotasun handia du, batez ere ebaketa-erremintak, moldeak eta altzairu herdoilgaitzezko plakak bezalako materialen gainazaletan film gogor geruza apaingarri eta higaduraren aurkako estaldura egiteko.
Argitaratze data: 2023ko abuztuaren 17a