Vastupidava aurustamise allika katmine on vaakumaurustamise põhimeetod. „Aurustamine” viitab õhukese kile valmistamise meetodile, mille puhul kattematerjali vaakumkambris kuumutatakse ja aurustatakse, nii et materjali aatomid või molekulid aurustuvad ja pinnalt väljuvad, moodustades auruvoolu nähtuse, langedes aluspinnale või aluspinnale ja lõpuks kondenseerudes, moodustades tahke kile.
Nn takistuskuumutusega aurustusallika katmismeetod seisneb selles, et tantaali, molübdeeni, volframi ja muude kõrge sulamistemperatuuriga metallide abil valmistatakse sobiva kujuga aurustusallikas, mis täidetakse aurustatavate materjalidega, lastakse õhul läbi voolata, aurustatud materjalid kuumutatakse ja aurustatakse otse või aurustatavad materjalid pannakse alumiiniumoksiidi, berülliumoksiidi ja muudesse tiiglitesse kaudseks kuumutamiseks ja aurutamiseks. See on takistuskuumutusega aurustusmeetod.
Seevaakum aurustamise katmismasinTakistusküttekehaga kuumutamisel ja aurutamisel on eelised lihtsa konstruktsiooni, madala hinna ja töökindluse poolest. Seda saab kasutada madala sulamistemperatuuriga materjalide aurustuskatmiseks, eriti masstootmises, kus katte kvaliteedile esitatavad nõuded on madalad. Alumiiniumpeeglite tootmisel on siiani kasutusele võetud suur hulk takistuskuumutamise ja aurustamise katmisprotsesse.
Takistuse aurustusallika aurustuskatmismeetodi puudusteks on piiratud kuumutamisega saavutatav maksimaalne temperatuur ja küttekeha lühike kasutusiga. Viimastel aastatel on takistuse aurustusallika eluea parandamiseks seadmete tehas aurustusallikana kasutusele võtnud boornitriidist sünteesitud pika elueaga juhtiva keraamilise materjali. Jaapani patendiaruande kohaselt saab aurustusallika (tiigli) valmistamiseks kasutada 20–30% boornitriidist koosnevaid materjale ja sellega sulatatavaid tulekindlaid materjale ning katta selle pinna 62–82% tsirkooniumi sisaldusega kihiga, ülejäänud osa on tsirkooniumi-räni sulammaterjalid.
Postituse aeg: 22. aprill 2023