Vaakumkatoodi kaare iooncoating on lühendatud kui vaakumkaarcoating. Kui kasutatakse kahte või enamat vaakumkaar-aurustusallikat (edaspidi kaarallikad), nimetatakse seda mitme kaarega ioonsekscokaar- või mitmekaar-tüüpicoSee on vaakumioonkatmistehnoloogia, mis kasutab aurustusallikatena vaakumkaarlahendust. Erinevalt õõneskatoodi kuumast elektronkaarest on selle kaare vorm katoodkaare täppide moodustumine külma katoodi pinnale.
Vaakumkatoodi kaare iooni omadusedcoating on:
(1) Aurustusallikas on tahke katoodkatood, mis genereerib plasmat otse katoodkatoodist ilma sulavanni vajaduseta. Kaarkaarkatoodi saab paigutada mis tahes suunas ja mitmest allikast, et tagada ühtlane katmine.
(2) Seadme struktuur on suhteliselt lihtne, ilma töögaasi või abiionisatsioonimeetodite vajaduseta. Kaarleegi sihtmärgiallikas ei ole mitte ainult katoodimaterjali aurustusallikas, vaid ka iooniallikas; Reaktiivse sadestamise ajal eksisteerib ainult reaktiivne gaas ja atmosfääri kontrollitakse lihtsa täisrõhu juhtimisega.
(3) Ionisatsioonikiirus on kõrge, ulatudes üldiselt 60% ~ 80% -ni, ja sadestumiskiirus on kõrge.
(4) Langeva ioonenergia on kõrge ja sadestatud kile/aluspinna sidestusjõud on hea.
(5) Ohutu töö tagamiseks kasutage madalpinge toiteallikat.
(6) See suudab sadestada metallkilesid, sulamkilesid, reageerida ja sünteesida mitmesuguseid ühendkilesid (ammoniaakühendid, karbiidid, oksiidid) ning isegi sünteesida DLC-kilesid, CN-kilesid jne. Selle puuduseks on see, et sadestamise ajal pritsivad sihtmärgi pinnalt pisikesed vedelikutilgad, mis kondenseeruvad kaetud kilekihis ja suurendavad kilekihi karedust. Praegu on uuritud palju tõhusaid meetodeid nende mikrotilkade vähendamiseks ja kõrvaldamiseks.
Vaakumkaare iooncoAurutehnoloogiat on laialdaselt kasutatud tööriistade ja vormide ülikõvade kaitsekihtide katmiseks. Kilesüsteemide hulka kuuluvad TiN, ZrN, HfN, TiAIN, TiC, TiNC, CrN, Al2O3, DLC jne. Kattematerjalide hulka kuuluvad tööriistad, vormid jne. Kulla imitatsiooni ja värviliste dekoratiivsete kaitsekihtide osas hõlmavad kilesüsteemid TiN, ZrN, TiAIN, TiAINC, TC, TiNC, DLC, Ti-ON, TONC, ZrCN, Zr-ON jne. Värviliste kilesüsteemide hulka kuuluvad püstolmusta, musta, lilla, pruuni, sinise, rohelise, halli jne.
Mitme kaare iooncoPinnakattega katmisel on lai valik rakendusi ja see on väga praktiline, eriti dekoratiivsete ja kulumiskindlate kõvade kilekihtide katmisel selliste materjalide pindadele nagu lõikeriistad, vormid ja roostevabast terasest plaadid.
Postituse aeg: 17. august 2023