Ion de arco de cátodo de vacíocoAting se abrevia como arco de vacío.coSi se utilizan dos o más fuentes de evaporación por arco de vacío (denominadas fuentes de arco), se denomina ionización de arco múltiple.coarco de ating o multicoEs una tecnología de recubrimiento iónico al vacío que utiliza la descarga de arco al vacío para fuentes de evaporación. A diferencia del arco de electrones calientes de la descarga de cátodo hueco, su forma de arco consiste en la formación de puntos de arco catódico en la superficie del cátodo frío.
Las características del arco iónico del cátodo de vacíocoLos objetivos son:
(1) La fuente de evaporación es un blanco catódico sólido que genera plasma directamente desde la fuente, sin necesidad de un baño de fusión. La fuente de arco puede disponerse en cualquier dirección y con múltiples fuentes para garantizar un recubrimiento uniforme.
(2) La estructura del equipo es relativamente sencilla, sin necesidad de gas de trabajo ni métodos auxiliares de ionización. La fuente de arco no solo evapora el material del cátodo, sino que también es una fuente de iones. Durante la deposición reactiva, solo existe gas reactivo y la atmósfera se controla mediante un simple control de presión total.
(3) La tasa de ionización es alta, generalmente alcanza entre el 60% y el 80%, y la tasa de deposición es alta.
(4) La energía iónica incidente es alta y la fuerza de unión película/sustrato de la película depositada es buena.
(5) Utilizar una fuente de alimentación de bajo voltaje para una operación segura.
(6) Permite depositar películas metálicas y de aleación, reaccionar y sintetizar diversas películas de compuestos (compuestos de amoníaco, carburos, óxidos), e incluso sintetizar películas de DLC, películas de CN, etc. Su desventaja es que, durante la deposición, se proyectan pequeñas gotas de líquido desde la superficie del objetivo, que se condensan en la capa de película recubierta y aumentan su rugosidad. Actualmente, se han estudiado numerosos métodos eficaces para reducir y eliminar estas microgotas.
Ion de arco de vacíocoLa tecnología de recubrimiento se ha utilizado ampliamente para aplicar recubrimientos protectores superduros a herramientas y moldes. Los sistemas de película incluyen TiN, ZrN, HfN, TiAIN, TiC, TiNC, CrN, Al₂O₃, DLC, etc. Los productos de recubrimiento incluyen herramientas, moldes, etc. En cuanto a los recubrimientos protectores decorativos de color y de imitación de oro, los sistemas de película incluyen TiN, ZrN, TiAIN, TiAINC, TC, TiNC, DLC, Ti-ON, TONC, ZrCN, Zr-ON, etc. Los sistemas de película de color incluyen negro pólvora, negro, morado, marrón, azul, verde y gris.
Ion de arco múltiplecoEl recubrimiento tiene una amplia gama de aplicaciones y una gran practicidad, especialmente en el recubrimiento de capas de película dura decorativas y resistentes al desgaste en las superficies de materiales como herramientas de corte, moldes y placas de acero inoxidable.
Hora de publicación: 17 de agosto de 2023