Rezista vaporiga fonta tegaĵo estas baza vakua vaporiga tegaĵmetodo. "Vaporiĝo" rilatas al maldika filmprepara metodo, en kiu la tegaĵmaterialo en la vakua ĉambro estas varmigita kaj vaporigita, tiel ke la materialaj atomoj aŭ molekuloj vaporiĝas kaj eskapas de la surfaco, formante vaporfluan fenomenon, incidencante sur la surfacon de la substrato aŭ substrato, kaj fine kondensiĝante por formi solidan filmon.
La tiel nomata rezista vaporiĝa fonta tegaĵmetodo uzas tantalon, molibdenon, volframon kaj aliajn altfandopunktajn metalojn por fari taŭgan formon de vaporiĝa fonto, kiu estas ŝarĝita per vaporigotaj materialoj, lasas la aeron flui tra, rekte varmigas kaj vaporigas la vaporigitajn materialojn, aŭ metas la vaporigotajn materialojn en alumino-teron, berilian oksidon kaj aliajn krisolojn por nerekta varmigo kaj vaporigo. Ĉi tio estas la rezista varmiga vaporiĝa metodo.
Lavakua vaporiĝa tegaĵmaŝinoVarmigita kaj vaporigita per rezistanca hejtilo havas la avantaĝojn de simpla strukturo, malalta kosto kaj fidinda uzo. Ĝi povas esti uzata por vaporiĝa tegaĵo de materialoj kun malalta fandopunkto, precipe por amasproduktado kun malaltaj postuloj pri tegaĵkvalito. Ĝis nun, ankoraŭ ekzistas granda nombro da tegaĵaj procezoj de rezistanca hejtado kaj vaporiĝo uzataj en la produktado de aluminigitaj speguloj.
La malavantaĝoj de la metodo de vaporiĝo per rezista vaporiĝo per fonto estas, ke la maksimuma temperaturo atingebla per varmigo estas limigita, kaj la funkcidaŭro de la hejtilo ankaŭ estas mallonga. En la lastaj jaroj, por plibonigi la vivdaŭron de la rezista vaporiĝo per fonto, la ekipaĵfabriko adoptis la konduktan ceramikan materialon sintezitan per bora nitrido kun longa vivdaŭro kiel la vaporiĝfonton. Laŭ japana patentraporto, ĝi povas uzi materialojn konsistantajn el 20%~30% bora nitrido kaj obstinaj materialoj, kiuj povas esti kunfanditaj kun ĝi, por fari la vaporiĝfonton (kristolon), kaj kovri ĝian surfacon per tavolo de zirkonio enhavanta 62%~82%, kaj la resto estas zirkonio-siliciaj alojmaterialoj.
Afiŝtempo: 22-a de aprilo 2023